13.3.1可拆卸式電磁屏蔽室的壁板、頂板和底板宜選用1.5mm厚鋼板，或0.3mm~0.5mm厚鋼板、鋁板或不銹鋼板。屏蔽模塊板相互連接處應安裝連續(xù)的導電襯墊。施工直接安在圍護結構地面上的底板時，底板與地面之間應鋪2mm~3mm厚的電絕緣和能隔水汽的墊層。安裝過程中不得在底板上灑水。13.3.2焊接式電磁屏蔽室的壁板和頂板宜選用2mm厚鋼板，底板宜選用2.5mm~3mm厚鋼板。選用銅板、鋁板或不銹鋼板時，均宜選用0.3mm~0.5mm厚的薄板。焊接時嚴禁燒穿屏蔽壁板，不得使壁板變形。當在屏蔽壁板表面粘貼鐵氧體等吸波材料時，必須把表面焊縫打磨平整。無塵室為半導體行業(yè)提供了可靠的工作環(huán)境，推動了計算機、通信、物聯(lián)網(wǎng)等領域的飛速發(fā)展。北京實驗室無塵室檢測服務至上

10.3.1潔凈廠房內的干燥壓縮空氣系統(tǒng)應根據(jù)各類產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求、供氣量和供氣品質等因素確定,并應符合下列規(guī)定:1供氣規(guī)模應按產(chǎn)品生產(chǎn)所需供氣量和計人必要損耗量確定,并應設有一定的備用供氣量;2供氣品質應根據(jù)生產(chǎn)工藝對含水量、含油量、微粒粒徑及其濃度等要求確定;3供氣系統(tǒng)可集中設置在潔凈廠房內的供氣站或潔凈廠房外的綜合動力站;4應選用能耗少、噪聲低的設備,宜選用無油潤滑空氣壓縮機，5含水量要求嚴格時,宜選用加熱再生吸附干燥裝置。浙江過濾器無塵室檢測目的設施以規(guī)定的狀態(tài)運行，有規(guī)定的人員在場，并在商定的狀況下進行工作。

16.4.22臭氧濃度的檢驗應符合下列規(guī)定：在風系統(tǒng)內或室內安有可產(chǎn)生臭氧的裝置時，除裝置本身產(chǎn)生的臭氧應符合現(xiàn)行的相關產(chǎn)品標準規(guī)定外，還應在系統(tǒng)和該裝置正常運轉條件下，檢測室內臭氧濃度。應按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《室內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.16mg/m3的規(guī)定。16.4.23二氧化碳濃度的檢測應符合下列規(guī)定：當對新風效果作細致確認時，可在風系統(tǒng)正常運行、室內處于動態(tài)條件下，于每一班次結束之前檢測室內二氧化碳濃度，按附錄E檢驗，結果應符合設計要求。當設計無明確要求時，應符合現(xiàn)行國家標準《空內空氣質量標準》GB/T18883不大于0.10％的規(guī)定。16.4.24當需要測定分子態(tài)污染物濃度時，可按附錄H的方法或按建設方與檢驗方商定的方法檢測，結果應符合設計要求或雙方商定的標準。

12.1.1潔凈廠房的用電負荷等級和供電要求，應根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝及設備要求和現(xiàn)行國家標準《供配電系統(tǒng)設計規(guī)范》GB50052的有關規(guī)定確定。12.1.2潔凈廠房低壓配電電壓等級應符合生產(chǎn)工藝設備用電要求。帶電導體系統(tǒng)的型式宜采用單相二線制、三相三線制、三相四線制。系統(tǒng)接地型式宜采用TN-S或TN-C-S系統(tǒng)。12.1.3電子產(chǎn)品生產(chǎn)用主要工藝設備，應由變壓器或低壓饋電線路供電。對電源連續(xù)性有特殊要求的生產(chǎn)設備、動力設備，宜設置不間斷電源或備用發(fā)電裝置等。在潔凈室(區(qū))內宜設置的檢修電源。12.1.4潔凈廠房的凈化空調系統(tǒng)（含制冷機），應由變電所專線供電。國內按空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)對無塵車間進行測試。

6.2.1氣體系統(tǒng)管道材質及附件，應按設計要求選配，如設計未作明確要求，選用時應與潔凈室潔凈度級別和輸送氣體性質相適應，并應符合下列規(guī)定：1應使用無縫管材。2管材內表面吸附、解吸氣體的作用小。3管材內表面應光滑、耐磨損。4應具有良好的抗腐蝕性能。5管材金屬組織在焊接處理時不應發(fā)生變化。6負壓管道不宜采用普通碳鋼管。6.2.2所用管材應放在室內保管，不得重疊碼放。管道應無裂紋、縮孔、夾渣、起瘤、折疊、重皮、銹斑、表面損傷等缺陷。管道應平直、圓滑。6.2.3成品管外包裝和相應管端頭的管帽、堵頭等密封措施應有效、無破損。設施已經(jīng)建成，生產(chǎn)設備已經(jīng)安裝，并按業(yè)主及供應商同意的狀態(tài)運行，但無生產(chǎn)人員。浙江實驗室環(huán)境無塵室檢測服務

空間內其他有關參數(shù)如溫度、濕度、壓力等按要求進行控制。可以是開放式或封閉式。北京實驗室無塵室檢測服務至上

4.1.2潔凈廠房凈化空調系統(tǒng)的新風口與城市交通干道之間的距離（相鄰側邊沿）宜大于50m。當潔凈廠房與交通干道之間設有城市綠化帶時，可根據(jù)具體條件適當減少，但不得小于25m。4.1.3對于有微振控制要求的潔凈廠房的位置選擇，應實際測定周圍現(xiàn)有振源和模擬振源的影響，并應與容許振動值比較分析后確定。4.1.4廠區(qū)總平面布置時，應按潔凈生產(chǎn)、非潔凈生產(chǎn)、輔助生產(chǎn)、公用動力系統(tǒng)和辦公、生活等功能區(qū)合理布局。潔凈廠房宜根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝特點和各種功能區(qū)的要求，按組合式、大體量的綜合性廠房布置。4.1.5潔凈廠房周圍及其周邊的道路面層，應選用整體性能好、發(fā)塵少的材料。北京實驗室無塵室檢測服務至上