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安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

來源: 發(fā)布時(shí)間:2024年12月01日

4.4.3~4.4.6控制設(shè)備噪聲首先要從聲源上考慮,設(shè)計(jì)時(shí)應(yīng)選用低噪聲設(shè)備。在某些情況下,由于技術(shù)或經(jīng)濟(jì)上的原因而難以做到時(shí),則應(yīng)從噪聲傳播途徑上采取降噪措施,如把高噪聲工藝設(shè)備遷出潔凈室或隔離布置于隔聲間內(nèi)。有些由于與生產(chǎn)聯(lián)系密切,必須置于潔凈區(qū)內(nèi)的高噪聲設(shè)備,亦可采用隔聲罩隔絕噪聲。國內(nèi)現(xiàn)有潔凈廠房中,不少潔凈室將機(jī)械泵一類高噪聲設(shè)備置于潔凈室外套間或技術(shù)夾道內(nèi),潔凈室內(nèi)噪聲有明顯降低。潔凈室的靜態(tài)噪聲主要來源于凈化空調(diào)系統(tǒng)和局部凈化設(shè)備運(yùn)行噪聲,靜態(tài)噪聲的大小與潔凈室氣流流型、換氣次數(shù)等因素有關(guān)。但關(guān)鍵在于凈化空調(diào)系統(tǒng)的布置及合理的降噪措施,不合理的設(shè)計(jì)方案必然導(dǎo)致較高的靜態(tài)噪聲。單向流潔凈室靠送風(fēng)氣流“活塞”般的擠壓作用,迅速把室內(nèi)污染排出。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

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9.2.1潔凈室的照明一般要求照度高,但燈具安裝的數(shù)量受到送風(fēng)風(fēng)口數(shù)量和位置等條件的限制,這就要求在達(dá)到同一照度值情況下,安裝燈具的個(gè)數(shù)極少。熒光燈的發(fā)光效率一般是白熾燈的3倍~4倍,而且發(fā)熱量小,有利于空調(diào)節(jié)能。此外,潔凈室天然采光少,在選用光源時(shí)還需考慮它的光譜分布盡量接近于天然光,熒光燈基本能滿足這一要求。因此,目前國內(nèi)外潔凈室一般均采用熒光燈作為照明光源。當(dāng)有些潔凈室層高較高,采用一般熒光燈照明很難達(dá)到設(shè)計(jì)照度值,在此情況下,可采用其他光色好、光效更高的光源。由于某些生產(chǎn)工藝對光源光色有特殊要求,或熒光燈對生產(chǎn)工藝和測試設(shè)備有干擾時(shí),也可采用其他形式光源。潔凈傳遞窗潔凈室檢測公司設(shè)置在同一潔凈室內(nèi)的高效(亞高效、超高效)空氣過濾器的阻力、效率應(yīng)相近。

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4.1.1潔凈廠房位置的選擇,應(yīng)根據(jù)下列要求經(jīng)技術(shù)經(jīng)濟(jì)比較后確定:1應(yīng)布置在大氣含塵和有害氣體或化學(xué)污染物濃度較低、自然環(huán)境較好的區(qū)域;2應(yīng)遠(yuǎn)離鐵路、碼頭、飛機(jī)場、交通要道以及散發(fā)大量粉塵和有害氣體或化學(xué)污染物的工廠、貯倉、堆場等有嚴(yán)重空氣污染、振動(dòng)或噪聲干擾或強(qiáng)電磁場的區(qū)域。不能遠(yuǎn)離嚴(yán)重空氣污染源時(shí),則應(yīng)位于全年**小頻率風(fēng)向下風(fēng)側(cè);3在廠區(qū)內(nèi)應(yīng)布置在環(huán)境清潔、污染物少、人流和物流不穿越或少穿越的地段。..

潔凈廠房中生產(chǎn)區(qū)、輔助區(qū)和各類生產(chǎn)設(shè)備的布置與潔凈室(區(qū))內(nèi)的氣流流型、空氣潔凈度等級的保持密切相關(guān),所以本規(guī)范規(guī)定:在潔凈室(區(qū))內(nèi)要求空氣潔凈度嚴(yán)格的工序(設(shè)備)應(yīng)遠(yuǎn)離出人口和可能干擾氣流的場所設(shè)置,并宜布置在上風(fēng)側(cè);空氣潔凈度等級要求相同的工序或工作室相對集中布置等都是電子產(chǎn)品潔凈室(區(qū))內(nèi)布置的基本要求。另外,由于電子產(chǎn)品更新?lián)Q代快,電子工廠在實(shí)際生產(chǎn)中,在線維修及調(diào)試、邊生產(chǎn)邊增加設(shè)備擴(kuò)大生產(chǎn)能力的情況很多,因此在做工藝布局時(shí),應(yīng)根據(jù)具體情況,考慮這些因素,留出相應(yīng)的運(yùn)作空間。為避免不同空氣潔凈度等級的潔凈室(區(qū))之間的頻繁聯(lián)系發(fā)生交叉污染,應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求合理選擇相應(yīng)技術(shù)措施,如人的聯(lián)系應(yīng)采用氣閘室或空氣吹淋室;大物件的運(yùn)送也可以采用氣閘室,一般物件的運(yùn)送可采用傳遞窗;穿越隔墻的管線應(yīng)采用可靠氣密措施等。單向流潔凈室是:氣流以均勻的截面速度,沿著平行流線以單一方向在整個(gè)室截面上通過的潔凈室。

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6.3.1潔凈廠房的建筑圍護(hù)結(jié)構(gòu)和室內(nèi)裝修,應(yīng)選用氣密性良好,且在溫度和濕度變化時(shí)變形小的材料。潔凈室裝飾材料及其密封材料不得采用釋放對電子產(chǎn)品品質(zhì)有影響物質(zhì)的材料。裝修材料的燃燒性能應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑內(nèi)部裝修設(shè)計(jì)防火規(guī)范》GB50222的有關(guān)規(guī)定。裝修材料的煙密度等級不應(yīng)大于50,材料的煙密度等級應(yīng)符合現(xiàn)行國家標(biāo)準(zhǔn)《建筑材料燃燒或分解的煙密度試驗(yàn)方法》GB/T8627的有關(guān)規(guī)定。6.3.2潔凈室內(nèi)墻壁和頂棚的裝修應(yīng)符合下列要求:1應(yīng)滿足使用功能的要求,且表面應(yīng)平整、光滑、不起塵、避免眩光、便于清潔,并應(yīng)減少凹凸面,2當(dāng)采用踢腳時(shí),踢腳不宜突出墻面。不同等級的潔凈室之間的壓差不宜小于5Pa。風(fēng)速潔凈室檢測公司

嚴(yán)寒及寒冷地區(qū)的新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

10.2.3氣體純化裝置的設(shè)置,應(yīng)符合下列要求:1氣體純化裝置應(yīng)根據(jù)氣源和產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對氣體純度、容許雜質(zhì)含量要求選擇;2氣體純化裝置宜設(shè)置在氣體純化間(站)內(nèi)。當(dāng)潔凈廠房設(shè)有氣體入口室時(shí),氣體純化間宜與氣體入口室合建;3各類氣體純化裝置宜設(shè)置在同一氣體純化間(站)內(nèi)。若有特殊要求時(shí),也可根據(jù)具體要求分別設(shè)置在各自的氣體純化間內(nèi);4氣體終端純化裝置宜設(shè)置在鄰近用氣點(diǎn)處。10.2.4進(jìn)入潔凈廠房的氣體管道控制閥門、氣體過濾器、調(diào)壓裝置、壓力表、流量計(jì)、在線分析儀等,宜集中設(shè)置在氣體入口室。安徽半導(dǎo)體凈化車間潔凈室檢測認(rèn)真負(fù)責(zé)

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