圖2為所述蝕刻區(qū)的結構示意圖；圖3為所述玻璃加工治具的種結構正視圖；圖4為所述玻璃加工治具的第二種結構正視圖；圖5為圖3中的局部放大圖；圖6為所述玻璃加工治具的結構俯視圖；圖7為所述底支撐件的結構正視圖；圖8為所述底支撐件的結構側視圖。圖中數(shù)字表示：1-轉換區(qū)；2-沖洗區(qū)；3-蝕刻區(qū)；4-玻璃加工治具；31-腔室；32-主厚度測量儀；33-噴淋組件；41-底座；42-支撐架；43-底支撐件；44-側支撐件；421-豎直平板；422-側板；423-固定板；424-水平槽；425-豎直槽；426-固定槽；427-固定卡塊；428-定位槽；429-定位孔；431-支撐條；432-第二支撐條；433-連接部；434-接觸部；435-磁性件；436-第二磁性件；437-限位孔；438-限位塊；439-第二限位塊。具體實施方式以下結合附圖，對本發(fā)明上述的和另外的技術特征和優(yōu)點作更詳細的說明。實施例一如圖1所示，圖1為所述玻璃減薄設備的結構視圖；本發(fā)明中所述玻璃減薄設備包括轉換區(qū)1、沖洗區(qū)2和蝕刻區(qū)3，所述沖洗區(qū)2設置于所述轉換區(qū)1和所述蝕刻區(qū)3之間，豎直容納在玻璃加工治具4中的多個玻璃通過所述轉換區(qū)1被加載到所述沖洗區(qū)2中，在所述沖洗區(qū)2中進行減薄前清潔并且在所述蝕刻區(qū)3中經歷減薄處理。性價比高的減薄用清洗劑的公司。廣東什么是減薄用清洗劑批量定制

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    并控制磁轉子12和噴頭11每間隔20s旋轉10s，也就是說，控制磁轉子旋轉10s，控制磁轉子停止旋轉后，控制噴頭噴涂拋光液10s，停止噴涂拋光液10s后，控制磁轉子旋轉10s，以此類推。本發(fā)明實施例中，控制部件在脈沖工作模式下，實現(xiàn)減薄和拋光兩種工藝交替作用，使得減薄和拋光一體化完成，整個過程穩(wěn)定，速度快，控制性好，重復度高，無粉塵污染，襯底減薄終厚度達到20μm，拋光面ra＜2nm。還需要說明的是，本發(fā)明實施例中，在減薄的過程中，可以不斷更換磁轉子12，如磁轉子12工作1小時后，將磁轉子12更換為新的磁轉子，以使磁轉子與待加工表面貼合緊密，避免了傳統(tǒng)減薄工藝中由于轉子形變誤差造成的加工精度失真。此外，本發(fā)明實施例中，在完成拋光和減薄后，可以采用直鏈烷基苯磺酸鹽溶劑對待加工部件20進行清洗，用di水沖洗干凈，40℃的氮氣吹干。之后，將清洗后的待加工部件20和托盤10侵入60℃的nmp(n甲基吡咯烷酮)30min，使得待加工部件20和托盤10自動分離，取出待加工部件20后清洗干凈即可。本發(fā)明實施例還提供了一種拋光減薄方法，如圖5所示，包括：s101：將待加工部件固定在托盤上，待加工部件包括inp基晶圓；可選地。

    本發(fā)明提供如下技術方案：一種拋光減薄裝置，包括：托盤，用于固定待加工部件，所述待加工部件包括inp基晶圓；噴頭，用于向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，以對所述待加工表面進行拋光；磁轉子，放置在所述待加工部件的待加工表面上，用于通過旋轉對所述待加工表面進行機械研磨，對所述待加工表面進行減薄?？蛇x地，還包括控制部件；所述控制部件與所述磁轉子和所述噴頭相連，用于控制所述噴頭和所述磁轉子交替工作，以對所述待加工表面交替進行拋光和減薄。可選地，所述磁轉子包括截面為半圓形的柱狀磁性結構和位于所述磁性結構底部的研磨層，以通過所述研磨層對所述待加工表面進行機械研磨?？蛇x地，所述研磨層為金屬氧化物層，所述金屬氧化物層包括三氧化二鋁層?？蛇x地，還包括：熱板，設置于所述托盤底部，用于對所述托盤進行加熱，以使所述待加工部件與所述托盤鍵合固定?？蛇x地，所述待加工部件與所述托盤通過光刻膠鍵合固定。一種拋光減薄方法，包括：將待加工部件固定在托盤上，所述待加工部件包括inp基晶圓；通過噴頭向所述待加工部件的待加工表面噴涂拋光液，來對所述待加工表面進行拋光；通過磁轉子旋轉對所述待加工表面進行機械研磨。去除多余涂層，減薄用清洗劑是您不可或缺的好幫手。

    7保質期24主營產品：工業(yè)清洗劑空調清洗劑水處理藥劑除銹除油劑￥所在地：四川眉山在線詢價供應鋁材防氧劑、銅保護劑、銅清洗劑產品名稱銅保護劑品牌FABLE/福邦系列36是否危險化學品否是否進口否主營產品：工業(yè)潤滑油自行車潤滑油鐘表加工潤滑油防水油食品級油格林潤滑科技（惠州）有限公司所在地：廣東惠州在線詢價KRB-206環(huán)保鋁、銅清洗劑鋁制品清洗劑強除油無腐蝕不變色類別堿性清洗液型號KRB-206主要用途金屬表面除油脫脂執(zhí)行標準國標企標CAS略主營產品：切削液除銹劑防銹油防銹劑清洗劑除油粉中性除油除銹劑￥武漢科瑞博科技有限公司所在地：湖北武漢在線詢價生產廠家提供銅及其合金高效清洗劑1分鐘快速油污清洗劑分類銅清洗劑型號HWJ-781品牌輝煒佳PH值8-9保質期18CAS無主營產品：陶化劑硅烷處理劑脫漆劑鈍化劑￥東莞市輝煒佳金屬科技有限公司所在地：廣東東莞在線詢價供應銷售環(huán)保型銅化學拋光劑如銅化學拋光劑，銅酸洗工藝，銅拋光劑，銅清洗劑，銅本色清洗，銅氧化皮清洗分類精密電子儀器清洗劑型號Q810PH值保質期。減薄清洗劑，讓您的產品更加精致，提升市場競爭力。廣東什么是減薄用清洗劑批量定制

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    所述控制器控制所述玻璃加工治具4在所述蝕刻區(qū)3內作往復移動，所述主厚度測量儀32測量玻璃厚度并且將關于測得厚度的信息實時發(fā)送到所述控制器；當測得玻璃厚度達到預設目標厚度時，所述控制器停止在所述蝕刻區(qū)3中噴射噴淋液的減薄處理，并且控制所述玻璃加工治具4向所述沖洗區(qū)2移動。一般的，在所述腔室31內，減薄處理的具體工藝參數(shù)為：所述玻璃加工治具4的往復運動中單程單向時間設置為～4s，來回往復一次時間設置為3s～8s，往復移動幅度設置約為180mm左右；所述噴淋系統(tǒng)控制的噴淋液流量設置為1500lpm～2400lpm，在所述腔室31內的酸蝕溫度一般設置為20℃～40℃；在上述參數(shù)下，玻璃的酸蝕速率一般在μm/min～μm/min，可有效實現(xiàn)對玻璃的整體減薄處理。s2，完成減薄處理的所述玻璃加工治具4在所述沖洗區(qū)2內經減薄后初清洗后待機，所述控制器進行次減薄厚度確認操作；具體的，通過設置于所述沖洗區(qū)2內的所述輔助厚度測量儀，進行檢測厚度比較，從而實現(xiàn)所述減薄厚度確認操作，當所述減薄厚度未達到目標厚度時，所述控制器可控制所述玻璃加工治具4再次回撤至所述腔室31內進行再次減薄處理。s3，所述玻璃加工治具4移動至所述第三沖洗區(qū)2進行減薄后終清洗。廣東什么是減薄用清洗劑批量定制