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杭州新型MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

來源: 發(fā)布時間:2025年06月26日

在當(dāng)今科技飛速發(fā)展的時代,芯片技術(shù)作為**驅(qū)動力之一,正不斷推動著各個領(lǐng)域的革新。寧波啟樸芯微以其***的實力和前瞻性的布局,在芯片領(lǐng)域綻放出耀眼光芒。其自主可控的國內(nèi)首條8英寸MEMS規(guī)模化加工服務(wù)ODM產(chǎn)線,宛如一座科技堡壘,屹立于行業(yè)前沿。實驗區(qū)內(nèi),激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機等一整套先進(jìn)技術(shù)設(shè)備有序排列,這些設(shè)備如同精密的樂章演奏者,協(xié)同奏響科技創(chuàng)新的旋律。加工區(qū)域1000余平方米,不僅擁有**研發(fā)室、光學(xué)實驗室,還配套了百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室。如此完備的設(shè)施,為8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術(shù)研發(fā)和加工制造提供了***的支持。自建立以來,這條產(chǎn)線已服務(wù)200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè),成為推動行業(yè)發(fā)展的重要力量。同時,它先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務(wù)型示范平臺、寧波市重點實驗室、浙江省重點實驗室等榮譽,這無疑是對其實力和貢獻(xiàn)的高度認(rèn)可。配套百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,啟樸芯微帶給您更可靠的工藝水平。杭州新型MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

杭州新型MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化,MEMS微納加工

微機電系統(tǒng)(MEMS,Micro-Electro-MechanicalSystems)是一種將微型機械結(jié)構(gòu)、傳感器、執(zhí)行器與電子電路集成在單一芯片上的技術(shù)。其**是通過微納加工工藝(如光刻、薄膜沉積、離子刻蝕等),在硅基或其他材料上制造出尺寸在微米至毫米級別的三維可動結(jié)構(gòu)。這些結(jié)構(gòu)能夠感知或操控物理量(如壓力、加速度、溫度等),并通過嵌入式電路實現(xiàn)信號處理與通信。MEMS的制造技術(shù)借鑒了半導(dǎo)體工藝,但增加了機械部件的設(shè)計,例如通過深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)形成懸臂梁、空腔或微型齒輪。這種技術(shù)的高度集成性使得MEMS器件在體積、功耗和成本上***優(yōu)于傳統(tǒng)機電系統(tǒng),同時具備高靈敏度和快速響應(yīng)能力,成為現(xiàn)代智能設(shè)備的**組件之一。廣東前沿領(lǐng)域MEMS微納加工個性化服務(wù)遵循工程師對接制度,強化客戶本位,支持8英寸MEMS圓級加工,啟樸芯微服務(wù)周到!

杭州新型MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化,MEMS微納加工

寧波啟樸芯微系統(tǒng)技術(shù)有限公司成立于2022年9月,作為一家兼具產(chǎn)品開發(fā)能力和技術(shù)加工能力的科技型企業(yè),國家科技型中小企業(yè),寧波股權(quán)交易中心掛牌企業(yè)。啟樸芯微團(tuán)隊具有多年的MEMS智能制造與智能傳感研究經(jīng)驗,專注像元級光譜和偏振超維光學(xué)芯片研發(fā),及光學(xué)系統(tǒng)解決方案設(shè)計,將結(jié)構(gòu)輕便、精細(xì)度高、材料強度高、可定制性等技術(shù)優(yōu)勢賦予光譜成像系統(tǒng)的研制工藝,形成了具有自主知識產(chǎn)權(quán)的光譜濾波芯片及其成像系統(tǒng),并通過自主掌握MEMS晶圓級加工制造能力,實現(xiàn)集成芯片和模塊化光譜成像相機的自主研制。

寧波啟樸芯微自主可控國內(nèi)首條8英寸MEMS規(guī)模化加工服務(wù)ODM產(chǎn)線,實驗區(qū)內(nèi)設(shè)置有激光隱切機、光刻機、深硅刻蝕機、電子束蒸鍍儀、鍵合機、濕法腐蝕系統(tǒng)、磁控濺射儀、原子層沉積設(shè)備、化學(xué)機械拋光機、自動涂膠顯影系統(tǒng)等整套技術(shù)設(shè)備,加工區(qū)域1000余平方米,具備**研發(fā)室、光學(xué)實驗室,配套百級/萬級室內(nèi)MEMS加工無菌車間、微納加工實驗室,可以***支持8英寸(兼容4/6英寸)晶圓級MEMS技術(shù)研發(fā)和加工制造,自建立以來已服務(wù)200余家高校、科研院所和科創(chuàng)企業(yè),并先后成功獲批浙江省MEMS傳感芯片定制加工服務(wù)型示范平臺、寧波市重點實驗室、浙江省重點實驗室等。通過定制開發(fā)、項目互補與公司直營相結(jié)合的方式,啟樸芯微的服務(wù)模式靈活多樣!

杭州新型MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化,MEMS微納加工

小型多光譜相機是科技與藝術(shù)的完美結(jié)合。它的外觀設(shè)計精美,功能強大。多個鏡頭和濾波模組的組合,使得它能夠獲取豐富的光譜信息。光纖傳輸元件和計算機處理系統(tǒng)的配合,使得圖像的傳輸和處理更加高效。啟樸芯微團(tuán)隊自主研發(fā)的配套PC端應(yīng)用程序,為用戶提供了簡潔易用的操作界面和強大的數(shù)據(jù)處理功能。在人體膚質(zhì)、工業(yè)制品、植物等不同使用環(huán)境中的應(yīng)用,展示了它的***適用性。這一產(chǎn)品的出現(xiàn),不僅滿足了市場的需求,還推動了科技與藝術(shù)的融合發(fā)展。啟樸芯微,為廣大客戶提供更好的MEMS微納加工服務(wù)和產(chǎn)品。上海定制化MEMS微納加工技術(shù)指導(dǎo)

啟樸芯微光譜相機,通過對連續(xù)的物體光譜采集,以獲取反射、輻射光譜信息。杭州新型MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

秉承“斫雕為樸,芯程再啟”的企業(yè)宗旨,啟樸芯微致力于將先進(jìn)的光刻、深硅刻蝕、鍵合等技術(shù)服務(wù)方案應(yīng)用于實際生產(chǎn)中,不斷提升產(chǎn)品的性能和品質(zhì),以滿足客戶日益增長的多樣化需求。啟樸芯微自主研發(fā)的小型高光譜相機產(chǎn)品,以光功能芯片為,通過對連續(xù)的物體光譜進(jìn)行高精度采集和分析,能夠獲取豐富的反射和輻射光譜信息,為科研、醫(yī)療、環(huán)境監(jiān)測等領(lǐng)域提供了強有力的技術(shù)支持。啟樸芯微團(tuán)隊充分發(fā)揮自身技術(shù)優(yōu)勢,利用MEMS芯片結(jié)構(gòu)輕便、精細(xì)度高、材料強度高等特點,研制具有自主知識產(chǎn)權(quán)的光譜濾波芯片及其成像系統(tǒng),其通過像素級定標(biāo)技術(shù)實現(xiàn)圖像精細(xì)分析,比較大限度避免強光干擾問題,極大提升了工業(yè)制造品檢測效率,為光學(xué)傳感技術(shù)的發(fā)展注入了新的活力,同時,啟樸芯微力求提高產(chǎn)品定制化設(shè)計服務(wù)質(zhì)量,持續(xù)開展特種光學(xué)產(chǎn)品應(yīng)用與推廣,圍繞MEMS產(chǎn)品可行性方案積極參與行業(yè)交流。杭州新型MEMS微納加工與成果轉(zhuǎn)化

標(biāo)簽: MEMS微納加工
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