金融界2024年2月1日消息,據國家知識產權局公告,南京高華科技股份有限公司取得一項名為“一種MEMS壓阻式壓力傳感器及其制備方法“,申請日期為2022年8月。摘要顯示,本發明提供一種MEMS壓阻式壓力傳感器及其制備方法,MEMS壓阻式壓力傳感器包括襯底、氧化層、第二氧化層和壓敏電阻;所述氧化層包括區域和第二區域,所述區域位于所述平面的上方并平行于所述平面;所述第二區域的一端連接所述襯底,另一端連接所述區域;所述襯底、所述區域、所述第二區域之間圍合構成中空的腔室,且至少部分所述第二區域傾斜設置;在所述氧化層和所述第二氧化層之間夾設所述壓敏電阻,且所述壓敏電阻沿所述第二區域的傾斜面敷設。本發明的一個技術效果在于,結構設計合理,不僅能夠地縮小MEMS壓阻式壓力傳感器的尺寸,還有助于提升MEMS壓阻式壓力傳感器的靈敏度。力靈智能深耕壓力傳感器市場,持續推出高性能產品,為客戶創造更大價值。廣東優勢壓力傳感器價格多少
傳感器的電路能夠保證應變電橋電路的供電,并將應變電橋的失衡信號轉換為統一的電信號輸出(0-5,4-20mA或0-5V)。在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉換為應變片形變,從而達到壓力測量的目的。1、確認壓力測量的類型,即要測的是表壓、絕壓還是差壓。表壓是指以大氣壓為零點的壓力值,可以有正負值,高于大氣壓的為正,低于大氣壓的為負。絕差是指以真空為零點的壓力值,絕壓只有正值,沒有負值。差壓是指兩個壓力之間的差值。絕壓測量是將一個參考的壓力封閉在傳感器的芯片之中,通常這個壓力的大小只有真空(小于5mtor)和標準大氣壓(14.7psi)兩種,參考壓力為真空的傳感器我們稱為絕壓傳感器,為一個標準大氣壓的傳感器我們稱為密封表壓傳感器。因為所有的傳感器都是測量加在傳感器兩面膜片上的壓力差,但是差壓傳感器的壓力參考端的壓力是可以變化的。因此表壓傳感器(參考端通過一個小孔可以接通大氣)是一種普通形式的差壓傳感器。四川壓力傳感器是什么力靈智能專注壓力傳感器領域,不斷創新技術,提升產品性能,滿足客戶多樣化需求。
用硅-藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在惡劣的工作條件下正常工作,并且可靠性高、精度好、溫度誤差極小、性價比高。表壓壓力傳感器和變送器由雙膜片構成:鈦合金測量膜片和鈦合金接收膜片。印刷有異質外延性應變靈敏電橋電路的藍寶石薄片,被焊接在鈦合金測量膜片上。被測壓力傳送到接收膜片上(接收膜片與測量膜片之間用拉桿堅固的連接在一起)。在壓力的作用下,鈦合金接收膜片產生形變,該形變被硅-藍寶石敏感元件感知后,其電橋輸出會發生變化,變化的幅度與被測壓力成正比。傳感器的電路能夠保證應變電橋電路的供電,并將應變電橋的失衡信號轉換為統一的電信號輸出(0-5,4-20mA或0-5V)。在絕壓壓力傳感器和變送器中,藍寶石薄片,與陶瓷基極玻璃焊料連接在一起,起到了彈性元件的作用,將被測壓力轉換為應變片形變,從而達到壓力測量的目的。
現代傳感器在原理與結構上千差萬別,如何根據具體的測量目的、測量對象以及測量環境合理地選用傳感器,是在進行某個量的測量時首先要解決的問題。當傳感器確定之后,與之相配套的測量方法和測量設備也就可以確定了。測量結果的成敗,在很大程度上取決于傳感器的選用是否合理。1、根據測量對象與測量環境確定傳感器的類型要進行—個具體的測量工作,首先要考慮采用何種原理的傳感器,這需要分析多方面的因素之后才能確定。因為,即使是測量同一物理量,也有多種原理的傳感器可供選用,哪一種原理的傳感器更為合適,則需要根據被測量的特點和傳感器的使用條件考慮以下一些具體問題:量程的大小;被測位置對傳感器體積的要求;測量方式為接觸式還是非接觸式;信號的引出方法,有線或是非接觸測量;傳感器的來源,國產還是進口,價格能否承受,還是自行研制。在考慮上述問題之后就能確定選用何種類型的傳感器,然后再考慮傳感器的具體性能指標。我們的壓力傳感器可提供多種輸出信號選項。
應變式壓力傳感器原理應變式壓力傳感器是利用彈性敏感元件和應變計將被測壓力轉換為相應電阻值變化的壓力傳感器。力學傳感器的種類繁多,如電阻應變片壓力傳感器、半導體應變片壓力傳感器、壓阻式壓力傳感器、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器、諧振式壓力傳但應用為的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價格和較高的精度以及較好的線性特性。壓阻式傳感器是壓力式傳感器的一種。壓阻式壓力傳感器又稱擴散硅壓力傳感器。電阻應變片是一種將被測件上的應變變化轉換成為一種電信號的敏感器件,是壓阻式應變傳感器的主要組成部分之一。電阻應變片應用多的是金屬電阻應變片和半導體應變片兩種。金屬電阻應變片又有絲狀應變片和金屬箔狀應變片兩種。通常是將應變片通過特殊的粘和劑緊密的粘合在產生力學應變基體上,當基體受力發生應力變化時,電阻應變片也一起產生形變,使應變片的阻值發生改變,從而使加在電阻上的電壓發生變化。這種應變片在受力時產生的阻值變化通常較小,一般這種應變片都組成應變電橋,并通過后續的儀表放大器進行放大,再傳輸給處理電路(通常是A/D轉換和CPU)顯示或執行機構。力靈智能致力于壓力傳感器生產,嚴格把控每一個環節,確保產品質量優良。云南優勢壓力傳感器
力靈智能的壓力傳感器可實現高精度的壓力調節。廣東優勢壓力傳感器價格多少
傳感器的接線一向是客戶采購過程咨詢得多的問題之一,很多客戶都不知道傳感器如何連線,其實各種傳感器的接線方式基本都是一樣的,壓力傳感器一般有兩線制、三線制、四線制,有的還有五線制的。壓力傳感器兩線制比較簡單,一般客戶都知道怎么接線,一根線連接電源正極,另一個線也就是信號線經過儀器連接到電源負極,這種是簡單的,壓力傳感器三線制是在兩線制基礎上加了一個線,這根線直接連接到電源的負極,較兩線制麻煩一點。四線制壓力傳感器肯定是兩個電源輸入端,另外兩個是信號輸出端。四線制的多半是電壓輸出而不是4~20mA輸出,4~20mA的叫壓力變送器,多數做成兩線制的。壓力傳感器的信號輸出有些是沒有經過放大的,滿量程輸出只有幾十毫伏,而有些壓力傳感器在內部有放大電路,滿量程輸出為0~2V。至于怎么接到顯示儀表,要看儀表的量程是多大,如果有和輸出信號相適應的檔位,就可以直接測量,否則要加信號調整電路。五線制壓力傳感器與四線制相差不大,市面上五線制的傳感器也比較少。廣東優勢壓力傳感器價格多少