歐美半導體行業45％以上用干式真空泵代替了油封式機械泵，提高了產品的性能和質量。為了滿足不同應用領域和不同工況的要求，國外有多級羅茨真空泵、多級爪式真空泵、螺桿式真空泵、渦旋式真空泵、往復式活塞真空泵以及渦輪式無油真空泵等。極限壓力從10Pa～10-2Pa，抽速從20m3/h～500m3/h。據統計，目前國產干泵的應用還不足1％，國內半導體工業用的干泵全部從國外進口，其價格十分昂貴。所以，我國應大力研究開發干泵，使干泵成為我國真空工業新的經濟增長點。液環式真空泵是帶有多葉片的轉子偏心裝在泵殼內。往復式真空泵訂做價格

真空泵的工作壓力應該滿足工藝工作壓力要求，選型時真空度要高于真空設備真空度的半個到一個數量級。(如：真空工藝要求100pa(壓力)的真空度，選用真空泵的真空度至少要50pa-10pa)。一般如果要求壓強高于3300Pa，則優先選擇水環式真空泵作為真空裝置，如果壓強要求低于3300Pa，則不能選擇水環式真空泵，選擇旋片式真空泵或更高真空級別的真空泵作為真空獲得裝置。真空泵要求抽氣速率(也就是要求真空泵在其工作壓力下，排出氣體、液體，固體的能力)，一般單位：m3/h，L/S，m3/min。具體計算方法可以參考下面公式自行計算選型。當然，真空泵的選型是一個綜合過程，涉及到相關經驗等因素。往復式真空泵訂做價格水環真空泵開始用作自吸水泵，而后逐漸用于石油、化工、機械、礦山、輕工、醫藥及食品等許多工業部門。

微型真空泵被作為動力裝置，普遍用于氣體采樣、氣體循環、真空吸附、加速過濾、汽車真空助力等等場合，在醫療、衛生、科研、環保等領域得到了普遍的應用。輸入壓縮空氣，如果只是用微型氣泵輸出壓縮空氣。簡單地說，就是只用它來打氣、充氣，泵的抽氣口基本不用。這種情況比較簡單，按輸出壓力從大到小依次可選：PCF5015N、FAA8006、FAA6003、FAA4002、FM2002、FM1001。當然還要參考流量指標等相關技術參數。如果是用微型泵抽氣，情況稍微復雜些。判斷微型泵抽氣端工況，用于抽氣的微型泵分為兩類：氣體采樣泵和微型真空泵。

往復真空泵的主要部件有氣缸及在其中做往復直線運動的活塞，活塞的驅動是用曲柄連桿機構來完成的。除上述主要部件外還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，氣缸內氣體的密度減小，而形成抽氣過程，此時被抽容器中的氣體經過吸氣閥5進入泵體左腔。當活塞達到右位置時，氣缸左腔內就完全充滿了氣體。真空泵的維護檢查油的位置。經常檢查油質情況，發現油變質應及時更換新油。

在真空泵中，相對壓強即所測內部壓強比“大氣壓”低多少壓強，表示出系統壓強實際數值低于大氣壓強的數值。由于容器內部空氣被抽，因此，內部的壓強始終低于容器外部壓強。所以當用相對壓強或者表壓強表示的時候，數值前面必須帶負號，表示容器內部壓強比外部壓強低。極限壓強，壓強即所測內部壓強比”理論真空(理論真空壓強值為0Pa)”高多少壓強。它所比較的對象為理論狀態的真空壓強值。由于工藝所限，我們無論如何都不能將內部壓強抽到真空0Pa這個數值，因此，真空泵所抽的真空值比理論真空值要高。所以當用真空表示時，數值前面無負號。當真空泵中的葉輪順時針方向旋轉時，由于離心力的作用，形成了一個決定于泵腔形狀的封閉圓環。往復式真空泵訂做價格

通?？偸遣患訁^分地把微型泵中的氣體采樣泵和微型真空泵簡單統稱為微型真空泵。往復式真空泵訂做價格

由于水環真空泵中氣體壓縮是等溫的，故可抽除易燃、易爆的氣體，此外還可抽除含塵、含水的氣體，因此，水環泵應用日益增多。在泵體中裝有適量的水作為工作液。當葉輪按圖中指示的方向順時針旋轉時，水被葉輪拋向四周，由于離心力的作用，水形成了一個決定于泵腔形狀的近似于等厚度的封閉圓環。水環的上部分內表面恰好與葉輪輪轂相切，水環的下部內表面剛好與葉片頂端接觸（實際上葉片在水環內有一定的插入深度）。此時葉輪輪轂與水環之間形成一個月牙形空間，而這一空間又被葉輪分成葉片數目相等的若干個小腔。往復式真空泵訂做價格