隨著集成電路技術的發展,半導體封裝技術也在不斷創新和改進,以滿足高性能、小型化、高頻化、低功耗、以及低成本的要求。等離子處理技術作為一種高效、環保的解決方案,能夠滿足先進半導體封裝的要求,被廣泛應用于半導體芯片DB/WB工藝、Flip Chip (FC)倒裝工藝中。芯片鍵合(DieBonding)是指將晶圓上切割下來的單個芯片固定到封裝基板上的過程。其目的在于為芯片提供一個穩定的支撐,并確保芯片與外部電路之間的電氣和機械連接。常用的方法有樹脂粘結、共晶焊接、鉛錫合金焊接等。在點膠裝片前,基板上如果存在污染物,銀膠容易形成圓球狀,降低芯片粘結度。因此,在DB工藝前,需要進行等離子處理,提高基板表面的親水性和粗糙度,有利于銀膠的平鋪及芯片粘貼,提高封裝的可靠性和耐久性。在提升點膠質量的同時可以節省銀膠使用量,降低成本。等離子處理是一種常用的表面處理技術,通過在介質中產生等離子體,利用等離子體的高能離子轟擊表面。江蘇寬幅等離子清洗機24小時服務
在Mini LED封裝工藝中,針對不同污染物并根據基板及芯片材料的不同,采用不同的清洗工藝可以得到理想的效果,但是使用錯誤的工藝氣體方案,都會導致清潔效果不好甚至產品報廢。例如銀材料的芯片采用氧等離子工藝,則會被氧化發黑甚至報廢。一般情況下,顆粒污染物及氧化物采用氫氬混合氣體進行等離子清洗,鍍金材料芯片可以采用氧等離子體去除有機物,而銀材料芯片則不可以。在封裝工藝中對等離子清洗的選擇取決于后續工藝對材料表面的要求、材料表面的特征、化學組成以及污染物的性質等。等離子清洗機可以增強樣品的粘附性、浸潤性和可靠性等,不同的工藝會使用不同的氣體。吉林國產等離子清洗機用途真空等離子清洗設備是利用等離子體的物理和化學作用來清洗物體表面的一種設備。
汽車內外飾件普遍呈彎曲、凹凸等非平面造型,在噴漆、粘接、涂覆工藝前,可使用等離子設備對汽車內飾件、儀表板、儲物盒、天窗導軌、車燈等內外飾件進行表面活化,確保后續工藝質量。等離子表面處理具有處理效果均勻。無明火室溫處理,材料不易燙壞變形、環保無污染和適用范圍廣等優點,在汽車產業中也起著不可或缺的作用。①塑料內飾件粘接前經等離子處理可實現表面活化,改善表面潤濕性,確保粘接質量。②大尺寸彎曲、凹凸非平面的內飾件可使用真空等離子清洗機高效、均勻地進行表面活化處理,不同規格的內飾件可定制相應尺寸的腔體。
在半導體微芯片封裝中,微波等離子體清洗和活化技術被應用于提高封裝模料的附著力。這包括“頂部”和“倒裝芯片底部填充”過程。高活性微波等離子體利用氧自由基的化學功率來修飾各種基底表面:焊料掩模材料、模具鈍化層、焊盤以及引線框架表面。這樣就消除了模具分層問題,并且通過使用聚乙烯醇的等離子體,不存在靜電放電或其他潛在有害副作用的風險。封裝器件(如集成電路(ic)和印刷電路板(pcb))的去封裝暴露了封裝的內部組件。通過解封裝打開設備,可以檢查模具、互連和其他通常在故障分析期間檢查的特征。器件失效分析通常依賴于聚合物封裝材料的選擇性腐蝕,而不損害金屬絲和器件層的完整性。這是通過使用微波等離子體清潔去除封裝材料實現的。等離子體的刻蝕性能是高選擇性的,不受等離子體刻蝕工藝的影響。等離子表面處理技術可以保障處理面效果均勻,從而提高材料的表面質量和一致性。
等離子處理機的應用領域:它具有廣泛的應用領域,主要包括以下幾個方面:表面處理:可以用于金屬、陶瓷、塑料等材料的清洗、去污、活化、刻蝕等表面處理過程,提高材料的表面性能。材料改性:可以用于金屬材料的滲碳、滲氮、滲硼等表面改性過程,提高金屬材料的耐磨性、耐腐蝕性等性能。半導體制造:在半導體制造過程中具有重要作用,如晶圓清洗、薄膜沉積、光刻膠去除等過程都需要使用等離子處理機。微電子封裝:可以用于微電子封裝過程中的金屬焊盤活化、絕緣層刻蝕等過程,提高封裝器件的性能和可靠性。生物醫學:可以用于生物醫學領域的生物材料表面改性、細胞培養基制備等過程,提高生物材料的性能和生物相容性。等離子清洗機表面預處理和等離子清洗為塑料、金屬、鋁或玻璃的后續涂層提供了先決條件。天津國產等離子清洗機量大從優
等離子清洗是一種環保工藝,由于采用電能催化反應,同時利用低溫等離子體的特性。江蘇寬幅等離子清洗機24小時服務
低溫等離子清洗機處理溫度低,全程無污染,處理效率高,可實現全自動在線生產。樣品表面經過短時間處理可以顯著提高材料表面能,親水性,處理效果均勻穩定。等離子活化是一種利用等離子體處理技術對材料表面進行活化處理的方法。等離子體具有對材料表面活化的作用,因為等離子體包含離子、原子、電子、分子、自由基和紫外光等多種具有高度活性的粒子。在這些高能粒子轟擊下,材料表面可能發生化學斷裂、重組,從而達到材料表面性能改變的目的。江蘇寬幅等離子清洗機24小時服務