荷蘭BRONKHORST應(yīng)用要求客戶要求對(duì)載氣氫氣供應(yīng)進(jìn)行更準(zhǔn)確的流量控制，以改進(jìn)MOCVD工藝，從而提高LED的質(zhì)量。需要穩(wěn)定的流量條件和流量控制器對(duì)設(shè)置改變進(jìn)行快速響應(yīng)。重要議題氫氣的穩(wěn)定質(zhì)量流量控制快速控制良好的服務(wù)工藝方案為了提高M(jìn)OCVD工藝的質(zhì)量，從而提高LED質(zhì)量，Bronkhorst中國(guó)臺(tái)灣公司提供了多個(gè)EL-FLOWMetalSealed質(zhì)量流量控制器用作AIXTRONG3/G4代MOCVD設(shè)備的標(biāo)準(zhǔn)元件。使用這些流量控制器的目的是控制氫載氣流量。穩(wěn)定的載氣流量是整個(gè)工藝質(zhì)量的關(guān)鍵，因?yàn)槠淞髁繘Q定了LED組件的沉積速率。Bronkhorst質(zhì)量流量控制器提供大量氣體用于填充MOCVD反應(yīng)器設(shè)備的腔室。KOFLOC液體流量計(jì) EX-700-O-3/8F9-F9-20℃-I 水流控制器EX-700-O-1/4F9-F5-20℃-I 浮子流量計(jì)FM3102-PD-XP/K .德國(guó)HONSBERG好斯派克流量控制器報(bào)價(jià)

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MANI-FLOW系列產(chǎn)品在各個(gè)市場(chǎng)領(lǐng)域都擁有潛在的應(yīng)用市場(chǎng)，比如:過程工業(yè)醫(yī)療和制藥系統(tǒng)分析應(yīng)用生物技術(shù)和化學(xué)裝置食品和飲料加工半導(dǎo)體和電子工業(yè)優(yōu)點(diǎn)結(jié)構(gòu)緊湊，有效節(jié)省空間經(jīng)濟(jì)實(shí)惠，為用戶節(jié)約了成本在一個(gè)底座（如：無管道結(jié)構(gòu)）上組合功能，從而進(jìn)一步降低了潛在的泄漏風(fēng)險(xiǎn)模塊化結(jié)構(gòu)，方便安裝及更換‘即插即用’的預(yù)測(cè)元件，減少了客戶端檢測(cè)可供模塊質(zhì)量流量計(jì)流量在0.1…5mln/min以及1…50ln/minN2當(dāng)量；更高流量要求，可根據(jù)客戶需求定做。壓力傳感器供壓阻式壓力傳感器的壓力范圍在2…100mbar和0.2…10bar之間（絕壓或者相對(duì)壓力）。過濾器燒結(jié)式不銹鋼過濾器0.5,2,7或15μm。控制閥常關(guān)或開，供Kvmax.1.0的流量或者壓力控制。最高溫度50°C。電磁閥常開或者常關(guān)的截止閥；三通閥日本小島KOFLOC氣體流量控制器3665-3/8F9-O2-150SLM(20℃)?IN:0.25MPA日本原裝進(jìn)口 3660-1/4-CH4-5SLM現(xiàn)貨。

美國(guó)艾里卡特Alicat的工程師，我們需要知道以下工況參數(shù)來選擇適合您的流量計(jì)型號(hào)。1.應(yīng)用描述具體用于什么應(yīng)用？泄漏測(cè)試一般使用M、MW系列；移動(dòng)應(yīng)用、流量校準(zhǔn)、環(huán)境監(jiān)測(cè)使用MB、MWB系列。2.介質(zhì)1）成分：測(cè)量氣體的具體成分是什么，是否具有腐蝕性或水蒸汽？如果是請(qǐng)使用MS耐腐蝕型號(hào)。2）壓力：氣源壓力大小，流量計(jì)前端、后端壓力大小，是否真空應(yīng)用？對(duì)壓損是否有要求？如果氣源壓力小于1bar(G)，或用于低真空，或?qū)簱p有嚴(yán)格要求，無腐蝕性氣體，建議使用MW低壓損型。如果氣源壓力大于1MPa(G)，建議使用MQ。MCS-2SLPM-D MCS-5SLPM-D流量控制器MCS-10SLPM-D MCS-20SLPM-D 艾里卡特MCHS質(zhì)量流量控制器MCHS-10SLPM-D。德國(guó)HONSBERG好斯派克流量控制器報(bào)價(jià)

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