新巴頓分子泵軸承采用先進的復合材質體系,主要部件陶瓷球選用氧化鋯(ZrO?)材料,其硬度高達 HRA85,抗彎強度達到 230GPa,相比傳統軸承鋼材質,耐磨性提升了 3 倍以上。不銹鋼套圈采用真空除氣處理的 AISI 440C 不銹鋼,在 10??Pa 的超高真空環境下,水汽釋放率只為 5×10??Pa?m3/s,極大降低了出氣對真空系統的影響。某半導體蝕刻設備在采用新巴頓陶瓷軸承后,運行壽命從原本的 8 個月延長至 28 個月,設備因軸承故障導致的停機時間減少了 75%,明顯提升了生產效率,同時因材料出氣率低,芯片的良品率提高了 4% ,有效降低了生產成本。先進降噪技術,使新巴頓分子泵軸承降低振動噪音,優化環境。青浦區美國巴頓分子泵軸承
為滿足機械行業的全球化需求,新巴頓建立了分子泵軸承的國際物流網絡。通過 DHL、FedEx 等國際快遞,常規型號可在 3-5 個工作日送達亞太地區,5-7 個工作日送達歐美;大宗貨物采用空運(上海浦東機場至法蘭克福、洛杉磯等樞紐),清關時間≤24 小時。針對海外機械客戶的特殊需求,提供本地化倉儲服務(如在越南、墨西哥設立保稅倉),庫存周轉率達 8 次 / 年,縮短交貨周期至 7-10 天。國際物流方案的優化使新巴頓分子泵軸承能夠快速響應全球機械市場的需求,支持國內機械企業的海外項目拓展。C104HRRY17分子泵軸承廠家巴頓分子泵軸承:優化結構設計,提高產品承載能力。
推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術分子泵轉子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預緊彈簧,可將轉子軸向竄動量控制在 3μm 以內。在某電子束蒸發設備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統,確保蒸發源與基片的間距波動不超過 5nm,滿足光學薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導致的應力集中,使軸向載荷均勻分布。
新巴頓分子泵軸承在加工過程中進行高精度動平衡處理,殘余不平衡量≤1g?mm/kg,確保機械運轉時的低振動特性。在大型分子泵機組中,軸承與轉子的組合動平衡等級達到 G1.0(ISO 1940 標準),當轉速 30000rpm 時,軸承座振動速度≤1.0mm/s。這種動態平衡技術可避免機械系統因振動導致的連接件松動、密封失效等問題,尤其適用于半導體光刻機的真空系統 —— 該場景要求振動振幅<10μm,軸承的高精度平衡配合阻尼器設計,可將振動控制在 5μm 以內,保障光刻工藝的精度。熱膨脹補償機制,新巴頓分子泵軸承維持機械溫度變化下的精度。
分子泵高速旋轉時產生的陀螺力矩需通過角接觸軸承的接觸角優化來平衡。新巴頓的 7000 系列角接觸軸承采用 15°-40° 接觸角定制設計,當接觸角為 25° 時,可同時承受 3000N 軸向載荷與 1500N 徑向載荷,滿足 15 萬轉 / 分鐘工況下的轉子穩定性要求。通過有限元分析(FEA)優化滾道曲率半徑系數至 1.08 倍球徑,使接觸應力降低 25%,避免邊緣過載導致的疲勞剝落。某半導體刻蝕設備改用該設計后,軸承的 L10 壽命(90% 可靠性壽命)從 3000 小時提升至 8000 小時。巴頓分子泵軸承:專業技術支持,解決用戶難題。寶山區巴頓C1908X205Y23分子泵軸承
巴頓分子泵軸承:耐腐蝕、耐磨損,延長使用壽命。青浦區美國巴頓分子泵軸承
某 12 英寸晶圓廠的刻蝕機配備 4 臺 2000L/s 分子泵,原采用進口鋼制軸承,平均每 6 個月因碳化硅顆粒污染導致軸承失效。新巴頓為其定制的 Si?N?陶瓷軸承,配合迷宮式密封結構,使軸承壽命延長至 24 個月。該方案的重心在于:陶瓷球的硬度(HRC78-80)高于碳化硅顆粒,可減少磨粒磨損;密封唇口采用氟橡膠材質,在 150℃工況下仍保持彈性,阻止微粒侵入。改造后,該產線的非計劃停機率從 8% 降至 1%,年節約維護成本 120 萬元。此外,公司為某 MOCVD 設備配套的軸承,通過在保持架中嵌入石墨自潤滑塊,解決了金屬有機化合物沉積導致的軸承卡死問題,使設備連續運行時間突破 10000 小時。青浦區美國巴頓分子泵軸承