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松江區(qū)C1908HX205Y26DF分子泵軸承

來源: 發(fā)布時間:2025年06月19日

巴頓分子泵軸承:高效傳輸,提升分子泵性能巴頓分子泵軸承,采用先進(jìn)的設(shè)計(jì)和制造工藝,確保高效傳輸分子。這不僅提高了分子泵的性能,還為客戶帶來更高的工作效率和經(jīng)濟(jì)效益。巴頓分子泵軸承:適應(yīng)高速運(yùn)轉(zhuǎn),確保系統(tǒng)穩(wěn)定分子泵需要高速運(yùn)轉(zhuǎn)以產(chǎn)生所需的真空度。巴頓分子泵軸承,采用特殊材料和潤滑技術(shù),確保在高速運(yùn)轉(zhuǎn)下依然能夠保持穩(wěn)定狀態(tài),為系統(tǒng)提供持久動力。巴頓分子泵軸承:高剛度設(shè)計(jì),提高系統(tǒng)穩(wěn)定性巴頓分子泵軸承,采用高剛度設(shè)計(jì),提高系統(tǒng)的穩(wěn)定性。即使在極端工況下,也能保持穩(wěn)定的運(yùn)轉(zhuǎn)狀態(tài),確保分子泵的高效運(yùn)行和系統(tǒng)的整體性能。巴頓分子泵軸承:創(chuàng)新潤滑技術(shù),降低摩擦損耗。松江區(qū)C1908HX205Y26DF分子泵軸承

分子泵軸承

分子泵軸承作為真空系統(tǒng)主要部件,承擔(dān)著支撐高速旋轉(zhuǎn)轉(zhuǎn)子、確保真空腔體內(nèi)氣流穩(wěn)定的關(guān)鍵作用。其工作環(huán)境通常要求轉(zhuǎn)速高達(dá) 10 萬 - 15 萬轉(zhuǎn) / 分鐘,因此對軸承的動態(tài)穩(wěn)定性、耐磨性能及熱傳導(dǎo)性提出嚴(yán)苛標(biāo)準(zhǔn)。在半導(dǎo)體制造中,分子泵軸承需維持納米級制程所需的超高真空(10??Pa 以下),若軸承失效將導(dǎo)致腔室污染,直接影響芯片良率。新巴頓(上海)軸承銷售有限公司針對此類需求,提供基于陶瓷球與不銹鋼套圈的組合方案,通過優(yōu)化滾道弧度設(shè)計(jì),使軸承在高速運(yùn)轉(zhuǎn)時的溫升控制在 30℃以內(nèi),滿足半導(dǎo)體設(shè)備 24 小時連續(xù)運(yùn)行的可靠性要求。松江區(qū)C1908HX205Y26DF分子泵軸承巴頓分子泵軸承:低噪音,營造安靜環(huán)境。

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CT 機(jī)用分子泵軸承的防輻射設(shè):計(jì)醫(yī)療 CT 設(shè)備中的分子泵軸承需耐受 X 射線輻射(劑量率≤10mGy/h),新巴頓選用 316L 不銹鋼(含碳量≤0.03%)制造套圈,其 γ 射線吸收系數(shù)為 0.06cm?1,可有效減少輻射損傷。保持架采用輻射穩(wěn)定型 PEEK 材料(添加 5% 碳纖維),在 10?Gy 輻射劑量下仍保持力學(xué)性能穩(wěn)定。潤滑方面使用硅基潤滑脂(輻射分解率<1%),某 CT 設(shè)備采用該軸承后,經(jīng)過 5 年連續(xù)運(yùn)行(累計(jì)輻射劑量 5×103Gy),軸承性能未見明顯衰減,滿足醫(yī)療設(shè)備的長壽命要求。

分子泵軸承的低溫工況適應(yīng)性:在低溫真空環(huán)境(-196℃至 0℃)中,軸承材料的低溫脆性是關(guān)鍵挑戰(zhàn)。新巴頓選用 AISI 440C 不銹鋼(-196℃時沖擊功≥15J)制造套圈,配合聚四氟乙烯(PTFE)保持架,在液氦冷卻的分子泵中仍保持良好韌性。潤滑方面采用全氟聚醚(PFPE)低溫脂(傾點(diǎn) - 60℃),其粘度指數(shù)>400,在 - 150℃時仍具有流動潤滑能力。某超導(dǎo)磁體系統(tǒng)用分子泵采用該方案后,在 - 180℃工況下連續(xù)運(yùn)行 3000 小時,軸承摩擦系數(shù)穩(wěn)定在 0.015-0.02 之間。巴頓分子泵軸承:耐腐蝕合金材料,適應(yīng)惡劣工況。

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推力圓柱滾子軸承的軸向定位技術(shù)分子泵轉(zhuǎn)子的軸向定位精度要求通常在 5-10μm,新巴頓的 81100 系列推力圓柱滾子軸承采用研磨級推力墊圈,其平行度誤差≤1μm,配合軸向預(yù)緊彈簧,可將轉(zhuǎn)子軸向竄動量控制在 3μm 以內(nèi)。在某電子束蒸發(fā)設(shè)備中,該軸承與徑向支撐軸承形成剛性定位系統(tǒng),確保蒸發(fā)源與基片的間距波動不超過 5nm,滿足光學(xué)薄膜厚度的精密控制需求。軸承的滾子端面采用圓弧修形(曲率半徑 50mm),避免邊緣接觸導(dǎo)致的應(yīng)力集中,使軸向載荷均勻分布。新巴頓分子泵軸承降低能耗,契合環(huán)保趨勢,節(jié)能又高效。巴頓C1905X205Y12分子泵軸承公司

巴頓分子泵軸承:長壽命,降低維護(hù)成本。松江區(qū)C1908HX205Y26DF分子泵軸承

成本控制優(yōu)勢:國產(chǎn)化與規(guī)模效應(yīng)雙驅(qū)動,新巴頓通過整合國內(nèi)高質(zhì)供應(yīng)鏈,實(shí)現(xiàn)陶瓷球(圓度誤差<0.05μm)和軸承鋼(氧含量<8ppm)的國產(chǎn)化替代,相比進(jìn)口產(chǎn)品,成本降低了 35% 。同時,憑借規(guī)模化生產(chǎn)優(yōu)勢,進(jìn)一步攤薄生產(chǎn)成本。在保持 Dm?N 值(1.6×10?mm?r/min)等主要性能指標(biāo)達(dá)到國際先進(jìn)水平的前提下,產(chǎn)品價格更具競爭力。某國內(nèi)半導(dǎo)體設(shè)備制造商采用新巴頓軸承后,單臺分子泵系統(tǒng)的成本降低了 18 萬元,國產(chǎn)化率從 25% 提升至 85%,有效推動了國內(nèi)真空設(shè)備行業(yè)的自主發(fā)展。松江區(qū)C1908HX205Y26DF分子泵軸承

標(biāo)簽: 分子泵軸承
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