潔凈管道在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用技術(shù)隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,潔凈管道在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用也變得越來(lái)越重要。潔凈管道是指符合特定要求的管道系統(tǒng),能夠保持流體的潔凈狀態(tài),防止污染物對(duì)半導(dǎo)體制造過(guò)程和產(chǎn)品的影響。下面將介紹潔凈管道在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用技術(shù)。潔凈管道的清洗和維護(hù)也是非常重要的。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)管道的潔凈度要求非常高,因此需要定期對(duì)管道進(jìn)行清洗和維護(hù),防止污染物的積聚和滋生。常見(jiàn)的清洗方法包括物理清洗、化學(xué)清洗和高壓水清洗等。此外,定期檢查管道的漏損情況,及時(shí)更換老化或損壞的部件,也是保證管道潔凈性能的重要措施。潔凈管道系統(tǒng)適用于半導(dǎo)體制造的超純水輸送。杭州藥廠潔凈管道安裝
清洗、鈍化、消毒)可大致分為純化水循環(huán)預(yù)沖洗→堿液循環(huán)清洗→純化水清洗→鈍化→純化水再次沖洗→排放→純蒸汽消毒等幾個(gè)步驟。a純化水循環(huán)預(yù)沖洗:準(zhǔn)備一個(gè)貯液罐和一臺(tái)水泵,與需要鈍化的管道連成一個(gè)循環(huán)通路,在貯液罐中注入足夠的常溫純化水,用水泵加以循環(huán),15min后打開(kāi)排水閥,邊循環(huán)邊排放,比較好能裝一只流量計(jì);b堿液清洗:準(zhǔn)備氫氧化鈉化學(xué)純?cè)噭尤霟崴?溫度不低于70℃)配制成1%(體積濃度)的堿液,用泵進(jìn)行循環(huán),時(shí)間不少于30min,然后排放;c沖洗:將純化水加入貯罐,啟動(dòng)水泵,打開(kāi)排水閥排放,直到各出口點(diǎn)水的電阻率與罐中水的電阻率相一致,排放時(shí)間至少30min;d純化:(a)用純化水及化學(xué)純的硝酸配制成8%的酸液,在49-50℃溫度下循環(huán)60min后排放;(b)或用3%氫氟酸、20%硝酸、77%純化水配制溶液,溶液溫度在25-35℃,循環(huán)處理10-20min然后排放;a.初始沖洗:用常溫純化水沖洗,時(shí)間不少于5min;b.沖洗:再次沖洗,直到進(jìn)、出口純化水的電阻率一致;c.純蒸汽消毒:將潔凈蒸汽通入整個(gè)不銹鋼的管道系統(tǒng),每個(gè)使用點(diǎn)至少?zèng)_洗15min。上述清洗、鈍化、消毒過(guò)程及其參數(shù)應(yīng)加以記錄。南通PPH潔凈管道價(jià)格潔凈管道系統(tǒng)在化妝品生產(chǎn)中保證產(chǎn)品質(zhì)量。
待用材料非到用時(shí)不得拆封和去除標(biāo)識(shí)。特別注意的是,焊接氣和保護(hù)氣的純度滿足小純度為%以上,如果氣源達(dá)不到要求,要進(jìn)行二次過(guò)濾。作業(yè)環(huán)境準(zhǔn)備方面,施工場(chǎng)地應(yīng)徹底清掃干凈,并鋪設(shè)無(wú)塵的橡膠板或紙板。在作業(yè)期間每日應(yīng)清理廢舊料并用吸塵機(jī)或濕凈拖畚清潔1~2次;在進(jìn)行衛(wèi)生級(jí)配管作業(yè)時(shí)不得進(jìn)行非不銹鋼作業(yè),同時(shí)嚴(yán)禁將碳鋼材料和附有油脂類的工具帶入現(xiàn)場(chǎng);進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng),必須穿戴清潔工作服、膠鞋和軟質(zhì)帽子。特別注意的是,潔凈廠房?jī)?nèi)高純氣體管道的預(yù)制場(chǎng)所,其潔凈要求應(yīng)與管道安裝場(chǎng)所的潔凈度要求一致,否則將很難控制所預(yù)制的管道不受污染,因此預(yù)制房的搭建是不容忽視的。管道可能安裝在不同潔凈等級(jí)的房間,應(yīng)按安裝場(chǎng)所的高潔凈等級(jí)的要求來(lái)搭建預(yù)制房。預(yù)制房應(yīng)盡可能在廠房暫不使用的房間內(nèi)搭設(shè),用防靜電厚塑料膜圍護(hù),采用FFU或高效過(guò)濾器及低壓風(fēng)機(jī)用風(fēng)管連通(要有調(diào)節(jié)閥,以獲得必要的室內(nèi)正壓),完成上送風(fēng)、下側(cè)四周排風(fēng)的空調(diào)系統(tǒng),同時(shí)室內(nèi)要有充足的照明。施工階段控制支架制作與安裝過(guò)程中,應(yīng)注意若采用碳素鋼支吊架、碳素鋼管卡時(shí)必須是鍍鋅件,且不銹鋼管道與其接觸處應(yīng)采用不產(chǎn)塵的非金屬材料隔離。管道切割過(guò)程中。
給水用潔凈管道系統(tǒng)的連接方式有膠粘劑粘接、彈性密封圈連接、法蘭連接、螺紋連接及活接連接五大類。中文名潔凈管道系統(tǒng)鏈接方法膠粘劑粘接、彈性密封圈連接目錄1基本信息2粘接方法?膠粘劑粘接?彈性密封圈連接?法蘭接頭連接?螺紋連接?活接連接3埋地管道的敷設(shè)潔凈管道系統(tǒng)基本信息編輯給水用潔凈管道系統(tǒng)的連接方式有膠粘劑粘接、彈性密封圈連接、法蘭連接、螺紋連接及活接連接五大類,具體連接方法如下:潔凈管道系統(tǒng)粘接方法編輯潔凈管道系統(tǒng)膠粘劑粘接適用于管外徑不大于160mm的管道連接。粘接前,CPVC潔凈管道系統(tǒng)管端必須倒角,倒角坡度為30°,倒角厚約為管材壁厚的1/3,但不宜小于3mm。承口和管端套接部分必須用清洗劑擦拭干凈,用400目以下的砂紙將承口和管端套接部分打毛,均勻涂敷膠粘劑。潔凈管道系統(tǒng)彈性密封圈連接為便于密封圈和管材套入,可涂敷適量潤(rùn)滑劑=于凹槽,密封圈表面及管端。套接深度應(yīng)比承口深度短10-20mm。對(duì)于大口徑管材,可用厚木板墊于管端,以木槌或鐵棒擊入,或以拉緊器拉緊。潔凈管道系統(tǒng)法蘭接頭連接在對(duì)破損管道搶修時(shí),這種方法安全可靠,而且簡(jiǎn)單、迅速。潔凈管道系統(tǒng)螺紋連接為增加聯(lián)接處的強(qiáng)度。潔凈管道的材質(zhì)符合醫(yī)藥行業(yè)的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)。
表2-2不同系統(tǒng)管道拋光度要求系統(tǒng)管道名稱管外壁拋光度管內(nèi)壁拋光度純化水管道Ra≤μmRa≤μm注射用水管道Ra≤μmRa≤μm純蒸汽管道拋光度Ra≤μmRa≤μm潔凈壓縮空氣管道Ra≤μmRa≤μm3.潔凈管道的安裝施工流程由于管道所輸送的是潔凈的介質(zhì),內(nèi)表面還需經(jīng)過(guò)嚴(yán)格的脫脂、酸洗、鈍化處理。因此,潔凈管道系統(tǒng)沒(méi)必要每段管道都采用快裝卡箍連接,多采用惰性氣體保護(hù)焊為主,只是在使用點(diǎn)需安裝閥門(mén)的連接處采用快裝卡箍連接。具體流程如下圖所示。圖3-1潔凈管道施工流程施工準(zhǔn)備注意事項(xiàng)人員準(zhǔn)備方面,要預(yù)先對(duì)具有資質(zhì)的施工人員進(jìn)行施工培訓(xùn),明確工程情況、施工技術(shù)要求和相關(guān)施工規(guī)范,特別是衛(wèi)生級(jí)配管方面的清潔和GMP的相關(guān)要求和規(guī)定,完成技術(shù)交底,雙方確認(rèn)簽字后保存交底記錄。材料準(zhǔn)備方面,衛(wèi)生配管材料進(jìn)入現(xiàn)場(chǎng)需有材料質(zhì)量合格證書(shū),并應(yīng)提供妥善的保管場(chǎng)所。在保管中,應(yīng)分品種、材質(zhì)、規(guī)格分門(mén)保管。管子、閥門(mén)、管件、特殊部件置于木制貨架上,若置于地面上,地面應(yīng)鋪設(shè)無(wú)塵的橡膠板或紙板。同時(shí),材料保管范圍內(nèi),不得帶入碳鋼材料,并應(yīng)保持清潔。機(jī)具準(zhǔn)備方面,施工機(jī)械、工具在使用前需進(jìn)行檢查,并徹底清洗,表面不得有油污和其他臟物。同時(shí)。潔凈管道能夠有效去除水中的雜質(zhì)、細(xì)菌和有害物質(zhì),提供純凈、清潔的飲用水。嘉興PPH潔凈管道
潔凈管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)考慮到了易用性和耐用性。杭州藥廠潔凈管道安裝
引言GMP(GOODMANUFACTURINGPRACTICES,*品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范)是*品生產(chǎn)質(zhì)量管理規(guī)范的簡(jiǎn)稱,是對(duì)*品生產(chǎn)一種**、科學(xué)的管理方法。在GMP章節(jié)中,對(duì)潔凈管道的材料、布置、設(shè)備等都提出了要求,即“與*品直接接觸的設(shè)備表面應(yīng)光潔、平整、易清洗或消毒、耐腐蝕、不與*品發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或吸附*品”。潔凈管道有著各系統(tǒng)、性強(qiáng)等特點(diǎn),因此本文從*廠潔凈管道材質(zhì)選擇,施工安裝,試壓酸洗鈍化等方面進(jìn)行闡述,旨在提高施工單位對(duì)潔凈管道系統(tǒng)安裝及處理的重要性的認(rèn)識(shí),同時(shí)對(duì)從事該工作的人員起到一定的借鑒作用。1.*廠潔凈管道系統(tǒng)分類制*行業(yè)的管道系統(tǒng)主要用于工藝用水、用氣、無(wú)菌潔凈物料的輸送,可粗略地分為原料*管道和制劑管道兩種性質(zhì)管道,醫(yī)*制劑領(lǐng)域相對(duì)于原料*領(lǐng)域,所要輸送的介質(zhì)相對(duì)比較常見(jiàn),主要集中在軟化水、純化水、注射用水、純蒸汽、工藝壓縮空氣系統(tǒng)管道等。2.潔凈管道材質(zhì)與規(guī)格的選擇對(duì)于潔凈管道的材質(zhì),GMP對(duì)此有著嚴(yán)格的要求,管道內(nèi)的*品與管道材料不能發(fā)生任何化學(xué)反應(yīng)。目前能很好滿足此要求,應(yīng)用的是奧氏體不銹鋼,常見(jiàn)的品種有316L(00Crl7Nil4Mo2)、316(0Crl7Ni12Mo2)、304L(00Crl9Nil1)、304(0Crl9Ni9),這些不銹鋼的共性是耐蝕。杭州藥廠潔凈管道安裝