潔凈管道在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用技術(shù)隨著半導(dǎo)體技術(shù)的不斷發(fā)展,潔凈管道在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用也變得越來越重要。潔凈管道是指符合特定要求的管道系統(tǒng),能夠保持流體的潔凈狀態(tài),防止污染物對(duì)半導(dǎo)體制造過程和產(chǎn)品的影響。下面將介紹潔凈管道在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用技術(shù)。潔凈管道的材料選擇和設(shè)計(jì)是關(guān)鍵。半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)管道材料的要求非常嚴(yán)格,要求材料具備一定的耐腐蝕性、防靜電性以及耐高溫性能。常見的材料包括不銹鋼、特殊合金和高純度聚合物等。此外,潔凈管道的設(shè)計(jì)應(yīng)考慮流體流動(dòng)的均勻性、無死角以及易清潔等特點(diǎn),以確保潔凈性能。潔凈管道的安裝相對(duì)簡單,可以根據(jù)用戶的需求和空間進(jìn)行定制,靈活性較高。蘇州純化水潔凈管道報(bào)價(jià)
如20s以上才變色表明酸洗鈍化效果**。同時(shí),上述清洗、鈍化、消毒過程及其參數(shù)應(yīng)加以記錄。消毒**潔凈管道管路在正式使用前還必須進(jìn)行消毒**。針對(duì)不同系統(tǒng)應(yīng)有合適的清洗消毒方式,以減低系統(tǒng)中的微生物水平。如純化水系統(tǒng)可采用熱水巴氏消毒方式,注射用水系統(tǒng)可采用121℃過熱水**方式。值得注意的是,消毒和**定義略有不用,消毒是指殺滅或傳播媒介上病原微生物,使其達(dá)到無害化的處理。而**是指殺滅或傳播媒介上一切微生物的處理。因此,紫外線、巴氏循環(huán)、臭氧只能算消毒,過熱水、純蒸汽**可算**。結(jié)語潔凈管道在*品制備過程中具有重要的作用,同時(shí)也是GMP要求中不可或缺的方面,因此嚴(yán)格遵守GMP及相關(guān)規(guī)范要求,對(duì)潔凈管道從選材到施工完成各個(gè)環(huán)節(jié)嚴(yán)格把控,是保證*品質(zhì)量的重要因素;同時(shí)也希望使?jié)崈艄艿老到y(tǒng)在制*行業(yè)得到更加成熟的應(yīng)用。常州制藥行業(yè)潔凈管道報(bào)價(jià)潔凈管道的清潔和消毒程序簡單快捷。
潔凈管道是指在工業(yè)生產(chǎn)、醫(yī)療衛(wèi)生、食品加工等領(lǐng)域中,要求管道內(nèi)部具備一定的潔凈度和衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn)的管道系統(tǒng)。為了確保潔凈管道的正常運(yùn)行和產(chǎn)品質(zhì)量的保證,有一些標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范需要遵循。以下是關(guān)于潔凈管道的標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的一些內(nèi)容:材料選擇:潔凈管道的材料選擇應(yīng)符合相關(guān)的衛(wèi)生標(biāo)準(zhǔn),如食品級(jí)、醫(yī)療級(jí)或工業(yè)級(jí)。常用的材料包括不銹鋼、聚氨酯、PVC等,這些材料具有耐腐蝕、易清潔等特點(diǎn);設(shè)計(jì)規(guī)范:潔凈管道的設(shè)計(jì)應(yīng)考慮到管道的流動(dòng)性、清潔性和維護(hù)性。
清洗、鈍化、消毒)可大致分為純化水循環(huán)預(yù)沖洗→堿液循環(huán)清洗→純化水清洗→鈍化→純化水再次沖洗→排放→純蒸汽消毒等幾個(gè)步驟。a純化水循環(huán)預(yù)沖洗:準(zhǔn)備一個(gè)貯液罐和一臺(tái)水泵,與需要鈍化的管道連成一個(gè)循環(huán)通路,在貯液罐中注入足夠的常溫純化水,用水泵加以循環(huán),15min后打開排水閥,邊循環(huán)邊排放,比較好能裝一只流量計(jì);b堿液清洗:準(zhǔn)備氫氧化鈉化學(xué)純?cè)噭尤霟崴?溫度不低于70℃)配制成1%(體積濃度)的堿液,用泵進(jìn)行循環(huán),時(shí)間不少于30min,然后排放;c沖洗:將純化水加入貯罐,啟動(dòng)水泵,打開排水閥排放,直到各出口點(diǎn)水的電阻率與罐中水的電阻率相一致,排放時(shí)間至少30min;d純化:(a)用純化水及化學(xué)純的硝酸配制成8%的酸液,在49-50℃溫度下循環(huán)60min后排放;(b)或用3%氫氟酸、20%硝酸、77%純化水配制溶液,溶液溫度在25-35℃,循環(huán)處理10-20min然后排放;a.初始沖洗:用常溫純化水沖洗,時(shí)間不少于5min;b.沖洗:再次沖洗,直到進(jìn)、出口純化水的電阻率一致;c.純蒸汽消毒:將潔凈蒸汽通入整個(gè)不銹鋼的管道系統(tǒng),每個(gè)使用點(diǎn)至少?zèng)_洗15min。上述清洗、鈍化、消毒過程及其參數(shù)應(yīng)加以記錄。潔凈管道的其中一個(gè)優(yōu)點(diǎn)是節(jié)約資源和保護(hù)環(huán)境。相比傳統(tǒng)的自來水管道,潔凈管道采用先進(jìn)的凈水技術(shù)。
具有高化學(xué)穩(wěn)定性的特性,并且焊接性能很好。但此類不銹鋼在某些介質(zhì)情況下使用,會(huì)產(chǎn)生晶間腐蝕和點(diǎn)蝕等類型的腐蝕,特別是在含氯離子中尤會(huì)產(chǎn)生腐蝕,因此通常選用碳或低碳的316L或304L,316L由于鉬成分增加,使其更具抗腐蝕性,因此這種材質(zhì)是適合制*潔凈管道的一種材質(zhì),也是FDA極力推薦使用的管材。在選購316L不銹鋼管道時(shí),不僅要生產(chǎn)廠家提供完整的材料檢驗(yàn)報(bào)告,尤其注意外徑與壁厚要滿足設(shè)計(jì)中要求衛(wèi)生級(jí)不銹鋼管執(zhí)行的標(biāo)準(zhǔn),同時(shí)還要仔細(xì)查看管口的平整度,管壁厚薄是否均勻,管道外表有無機(jī)械碰痕,現(xiàn)場可檢測管道的內(nèi)表面粗糙度是否達(dá)到Ra≤μm,若未達(dá)到將將不易獲得良好的酸洗鈍化效果。對(duì)于潔凈管道的規(guī)格參數(shù)標(biāo)準(zhǔn),目前有眾多標(biāo)準(zhǔn):ISO/SMS(國家標(biāo)準(zhǔn)),ASMEBPE/3A(美國標(biāo)準(zhǔn)衛(wèi)生級(jí)規(guī)格),DIN11866/11850(德國標(biāo)準(zhǔn)化學(xué)會(huì)標(biāo)準(zhǔn)),IDF(**乳品聯(lián)合會(huì)標(biāo)準(zhǔn)),GB12075等,選用何種標(biāo)準(zhǔn)要符合業(yè)主設(shè)計(jì)要求,常用的有ASMEBPE和DIN11850規(guī)格,以ASMEBPE管子規(guī)格外徑壁厚為例,詳見下表。表2-1ASMEBPE管子規(guī)格公稱尺寸外徑壁厚,不同系統(tǒng)的管道內(nèi)外表面拋光度要求略有不同,BPE沒有規(guī)定外表面光潔度,但μm是被使用的要求。具體拋光度要求如下表所示。潔凈管道系統(tǒng)在醫(yī)療設(shè)備中提供無菌流體。上海GMP潔凈管道價(jià)格
潔凈管道的熱交換效率高,適用于熱流體傳輸。蘇州純化水潔凈管道報(bào)價(jià)
待用材料非到用時(shí)不得拆封和去除標(biāo)識(shí)。特別注意的是,焊接氣和保護(hù)氣的純度滿足小純度為%以上,如果氣源達(dá)不到要求,要進(jìn)行二次過濾。作業(yè)環(huán)境準(zhǔn)備方面,施工場地應(yīng)徹底清掃干凈,并鋪設(shè)無塵的橡膠板或紙板。在作業(yè)期間每日應(yīng)清理廢舊料并用吸塵機(jī)或濕凈拖畚清潔1~2次;在進(jìn)行衛(wèi)生級(jí)配管作業(yè)時(shí)不得進(jìn)行非不銹鋼作業(yè),同時(shí)嚴(yán)禁將碳鋼材料和附有油脂類的工具帶入現(xiàn)場;進(jìn)入現(xiàn)場,必須穿戴清潔工作服、膠鞋和軟質(zhì)帽子。特別注意的是,潔凈廠房內(nèi)高純氣體管道的預(yù)制場所,其潔凈要求應(yīng)與管道安裝場所的潔凈度要求一致,否則將很難控制所預(yù)制的管道不受污染,因此預(yù)制房的搭建是不容忽視的。管道可能安裝在不同潔凈等級(jí)的房間,應(yīng)按安裝場所的高潔凈等級(jí)的要求來搭建預(yù)制房。預(yù)制房應(yīng)盡可能在廠房暫不使用的房間內(nèi)搭設(shè),用防靜電厚塑料膜圍護(hù),采用FFU或高效過濾器及低壓風(fēng)機(jī)用風(fēng)管連通(要有調(diào)節(jié)閥,以獲得必要的室內(nèi)正壓),完成上送風(fēng)、下側(cè)四周排風(fēng)的空調(diào)系統(tǒng),同時(shí)室內(nèi)要有充足的照明。施工階段控制支架制作與安裝過程中,應(yīng)注意若采用碳素鋼支吊架、碳素鋼管卡時(shí)必須是鍍鋅件,且不銹鋼管道與其接觸處應(yīng)采用不產(chǎn)塵的非金屬材料隔離。管道切割過程中。蘇州純化水潔凈管道報(bào)價(jià)