異質結電鍍銅的主要工序:前面的兩道工藝制絨和 PVD 濺射。增加的工藝是用曝光機替代絲網印刷機和烤箱。具體分為圖形化和金屬化兩個環節:(1)圖形化:先使用 PVD 設備做一層銅的種子層,然后使用油墨印刷機(掩膜一體機)的濕膜法制作掩膜。在經過掩膜一體機的印刷、烘干、曝光處理后,在感光膠或光刻膠上的圖形可以通過顯影的方法顯現 出來,即圖形化工藝。(2)金屬化:首先完成銅的沉積 (電鍍銅),然后使用不同的抗氧化方法進行處理(電鍍鋅或使用抗氧化劑制作保護層)。然后去掉之前的掩膜、銅種子層,露 出原本的 ITO。然后做表面處理,比如文字、標簽或者組裝玻璃,這是一整道工序,即完成銅電鍍的所有過程。電鍍銅取代銀漿就是把格柵的線路做的更細。南京光伏電鍍銅設備廠家
光伏電鍍銅設計的導電方式主要有彈片式導電舟方式、水平滾輪導電、模具掛架式、彈片重力夾具等方式。合理的導電方式對光伏電鍍銅設備非常重要是實現可量產的關鍵因素之一。優良的導電方式可以實現設備的便捷維修和改善電鍍銅片與片之間的電鍍銅厚極差,甚至可以實現單片硅上分布電流的可監控性。釜川以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品,打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊,憑借技術競爭力,在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優勢;以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設備的交付服務。 南京光伏電鍍銅設備廠家 光伏電鍍銅設計的導電方式主要有水平滾輪導電方式。
銅電鍍與傳統絲網印刷的差異主要在TCO膜制備工序之后,前兩道的工藝制絨與PVD濺射未變:傳統異質結產線在TCO膜制備之后采用銀漿印刷和燒結,而銅電鍍則把銀漿絲網印刷替換成制備銅柵線的圖形化和金屬化兩大工序。圖形化工藝:PVD(物理的氣相沉積法)設備在硅片TCO表面濺射一層100nm的銅種子層,使用石蠟或油墨印刷機(掩膜一體機)的濕膜法制作掩膜/噴涂感光膠,印刷、烘干后經過曝光機曝光處理后,將感光膠或光刻膠上的圖形顯影。金屬化工藝:特定圖形的銅沉積(電鍍銅),然后使用不同的抗氧化方法進行處理(電鍍鋅或使用抗氧化劑制作保護層),除去之前的掩膜/感光膠,刻蝕去除多余銅種子層,避免電鍍銅在種子層腐蝕過程中引入缺陷,露出原本的TCO,其后再進行表面處理,至此形成完整的銅電鍍工序。整個過程使用的主要設備是電鍍設備。
銅電鍍整線就解決方案設備流程:種子層沉積—圖形化—電鍍—后處理,光伏電鍍銅工藝流程主要包括種子層沉積、圖形化、電鍍及后處理四大環節,目前各環節技術路線不一,多種組合工藝方案 并行,需要綜合性能、成本來選擇合適的工藝路線。釜川(無錫)智能科技有限公司,以半導體生產設備、太陽能電池生產設備為主要產品,打造光伏設備一體化服務。擁有強大的科研團隊,憑借技術競爭力,在清洗制絨設備、PECVD設備、PVD設備、電鍍銅設備等方面都有獨特優勢;以高效加工制造、快速終端交付的能力,為客戶提供整線工藝設備的交付服務。電鍍銅助力光伏電池金屬化環節降本增效。
電鍍銅光刻技術是指利用光學-化學反應原理和化學、物理刻蝕方法,將設計好的微圖形結構轉移到覆有感光材料的晶圓、玻璃基板、覆銅板等基材表面上的微納制造技術。光刻設備是微納制造的一種關鍵設備,在泛半導體領域,根據是否使用掩膜版,光刻技術主要分為直寫光刻與掩膜光刻,其中掩膜光刻可進一步分為接近/接觸式光刻以及投影式光刻。掩膜光刻由光源發出的光束,經掩膜版在感光材料上成像,具體可分為接近、接觸式光刻以及投影光刻。其中,投影式光刻更加先進,能夠在使用相同尺寸掩膜版的情況下獲得更小比例的圖像,從而實現更精細的成像。直寫光刻也稱無掩膜光刻,是指計算機將電路設計圖形轉換為機器可識別的圖形數據,并由計算機控制光束調制器實現圖形的實時顯示,再通過光學成像系統將圖形光束聚焦成像至已涂覆感光材料的基板表面上,直接進行掃描曝光。直寫光刻既具有投影光刻的技術特點,如投影成像技術、雙臺面技術、步進式掃描曝光等,又具有投影光刻不具備的高靈活性、低成本以及縮短工藝流程等技術特點。電鍍銅工藝簡單,易于操作和維護,可以在短時間內完成高質量的表面處理。南京光伏電鍍銅設備廠家
電鍍銅技術更適用于HJT。南京光伏電鍍銅設備廠家
全新的電鍍銅工藝旨在進一步針對低成本電池的需求,光伏銅電鍍技術采用金屬銅完全代替銀漿作為柵線電極,實現整片電池的工藝轉換,打破瓶頸,創新行業發展。光伏電鍍銅設計的導電方式主要有彈片式導電舟方式、水平滾輪導電、模具掛架式、彈片重力夾具等方式。合理的導電方式對光伏電鍍銅設備非常重要是實現可量產的關鍵因素之一。優良的導電方式可以實現設備的便捷維修和改善電鍍銅片與片之間的電鍍銅厚極差,甚至可以實現單片硅上分布電流的可監控性。 南京光伏電鍍銅設備廠家