隨著科學技術的發展以及真空應用領域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統出現了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產品的質量、數量,增加設備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應物質使真空泵內的介質嚴重變質,使泵不能正常工作。對于普通的無油真空系統來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統顯得復雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果。干式機械真空泵的應用是普遍的,主要有以下幾個方面:1)低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2)半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3)除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機械真空泵可以滿足要求;4)在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機溶劑造成污染,適合用干式真空泵;5)用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。沃德氣體以顧客為本,誠信服務為經營理念。淄博VPS干式真空泵廠
節省能源,需封閉前級并聯泵中的若干只。泵布局圖中的3A、3B、4A、4B被稱作前級泵,或叫預抽泵,B1、B2叫增壓泵。當全泵投入時,B1、B2開,3B、4B泵封閉。在布局圖中可見體系是經過兩個逆止閥與3B、4B泵進行銜接的,若是這兩個逆止閥開關不到位,或許有走漏,都會給體系的才能形成影響尤其是閥的走漏會形成體系短路,使上一級泵因背壓過高而無法正常作業,呈現二重真空表象。其次,真空泵的噴嘴是由兩部分組成的,這兩部分是靠法蘭銜接的,關于聯接法蘭在泵體內的真空泵,若聯接處因為密封等緣由形成蒸汽的走漏,也會給泵的功能形成影響。4、泵體布局的影響:關于單級真空泵,簡單磨損的部位是蒸汽的噴嘴,噴嘴被磨損后,不只會影響泵的功能,還會添加體系的運轉本錢。5、環境的影響:環境的影響主要是指被抽氣體對體系的污染,在鋼液處置過程中,鋼液會放出很多的氣體,一起也會有一部分細微的氧化粉皮等小顆粒被吸入真空泵,這些小顆粒會堆積粘附在泵體上,減小了抽氣管路流導,延長了抽氣時刻,下降了泵的抽氣功能。真空泵抽不了真空應該怎么解決?真空泵很多人都見過,隨著現在的發展,很多領域都需要用到真空泵,最近有人發現真空泵抽不了真空應該怎么解決?接下來我們一起來看一下。淄博VPS干式真空泵廠沃德氣體不懈追求產品質量,精益求精不斷升級。
連接管的口徑不能小于真空泵進氣口的內徑,否則會影響抽速,但必須小于進氣口的外徑,否則影響密封度。被抽容積不能過于大,一般會選用泵的抽速以秒為單位的15-20倍。在活動的接頭處,涂上真空脂,以增強其密封度。4、接上電源,裝接電線時,要注意電機銘牌上的接線規定的要求。真空泵如何安全操作真空泵是常見的真空設備,而且是很多實驗室的輔助設備,那么,真空泵如何安全操作呢?1、操作前的準備工作首先應將設備放置在水平、通風、干燥處,將真空機組抽氣口與被抽系統連接好,密封一定要嚴密,不應有泄漏點存在。檢查真空泵和羅茨泵內的油位及油杯中的潤滑油是否符合要求,連接好電源線和接地線。檢查是否有其他不安全因素。2、操作機組的啟動運行接通主電源開關,主電源指示燈亮;將控制方式放在手動或自動位置;按下控制電源按鈕,指示燈亮(真空泵、增壓泵和急停按鈕應復位,否則控制電源按鈕無法接通),如電源相序錯誤黃色指示燈亮,則需換相。將真空泵斷路器接通,按下真空泵控制按鈕,真空泵指示燈亮,同時真空泵運轉。根據實際情況調節增壓泵的延時(通過時間繼電器,調節范圍在1—6分鐘)。將增壓泵斷路器接通,按下增壓泵控制按鈕,增壓泵指示燈亮。
真空泵在安裝時有哪些要求真空泵是常見的真空設備,那么,真空泵在安裝時有哪些要求呢?真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備工藝過程中產生的全部氣體量。正確地組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空,有的真空泵出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。真空設備對油污染的要求。若設備嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、擋油阱等,也能達到清潔真空要求。真空泵應安裝在地面結實堅固的場所,周圍應留有充分的余地,便于檢查、維護、保養。真空泵底座下應保持地基水平,底座四角處建議墊減震橡皮或用螺栓澆制安裝,確保真空泵運轉平穩,振動小。真空泵與系統的連接管道應密封可靠。沃德氣體具備雄厚的實力和豐富的實踐經驗。
改善電廠的熱效率。真空吸水、煙氣脫硫在這方面,干式真空泵用來在發電設備的冷卻水系統內始終保持有一個虹吸管,使冷卻水循環泵能夠保持在設計流量工作,功率消耗比較低。飛灰輸送在真空下采用流體輸送方式將飛灰從吸塵器漏斗輸送到中央干燥收集器。這種輸送系統的主要優點是:由于灰塵在真空下傳遞,只能向內泄漏空氣,灰塵不會向外泄露。干式真空泵相比其它機械真空泵來說,不會因返流而影響產品的質量,而且更易于維護。有的國家的半導體行業已全部使用干式真空泵代替油封式機械泵。干式真空泵的應用范圍:干式真空泵的應用范圍現在干式真空泵越來越受到人們的歡迎,應用范圍也越來越廣,具體都應用在哪些領域呢?下面的文章為大家介紹一下。1、低壓化學氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;2、半導體刻蝕工藝。在這些生產工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;3、除半導體工藝外的某些產生微粒的工藝,不希望微粒混入泵油中,而微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;4、在化學工業、醫藥工業、食品工業中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等;5、用做一般無油清潔真空系統的前級泵,以防止油污染。干式真空泵的出現,為真空行業增添了一抹新的“靚麗風景”。沃德氣體傾城服務,確保產品質量無后顧之憂。淄博VPS干式真空泵廠
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組合式設計的每一級都需要較大流量的氮氣來起到稀釋和隔離作用。外部壓縮型螺桿式在外部壓縮型螺桿式設計中,使用一對等距螺桿。這使得內部壓縮減到最小,同時使得氣體通路最短也最簡單。這樣,氣體在泵體內停留的時間也最短。雖然這種設計由于減少了內部的壓縮比而使得其耗電量相對較高,但在很多復雜的半導體工藝中表現出極高的穩定性。這種單級設計使得其對氮氣用量的要求也非常小而且簡單,這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮氣。內部壓縮型螺桿式除了使用一對非等距螺桿以外,內部壓縮型螺桿式設計和外部壓縮型螺桿式設計的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內部產生壓縮。這種設計由于產生內部壓縮而使得其耗電量降低到同多級泵相當的水平。但在很多工藝中,這種內部壓縮同多級泵一樣,極易造成氣體在泵體內的物理化學變化而產生固化或液化。干式真空泵工作原理編輯1)干式螺桿真空泵干式螺桿真空泵,是利用一對螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉而產生的吸氣和排氣作用的抽氣設備,兩螺桿經精細動平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有一定的間隙,因此泵工作時,相互之間無磨擦,運轉平穩。淄博VPS干式真空泵廠
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