在多晶硅制備、半導(dǎo)體刻蝕等工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒，除半導(dǎo)體的某些產(chǎn)品需要微粒的工藝外，一般不希望微粒混入泵油中，而希望將微粒排出泵外，干式螺桿真空泵能夠滿足要求。常用真空泵包括干式螺桿真空泵，水環(huán)泵往復(fù)泵，滑閥泵旋片泵，羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力，近年來(lái)，伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。華中真空設(shè)備配套性強(qiáng)、特點(diǎn)突出、適應(yīng)性好，在激烈的市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)中得到了客戶的認(rèn)同。貴州無(wú)油干式真空泵

無(wú)油干式真空泵是一種不需要使用油或液體作為密封介質(zhì)的真空泵，它采用干式工作原理，即在泵腔內(nèi)不含液體和油脂，通過(guò)機(jī)械運(yùn)動(dòng)將氣體排出。無(wú)油干式真空泵相對(duì)于傳統(tǒng)的油封真空泵具有以下優(yōu)勢(shì)：無(wú)污染，無(wú)油干式真空泵不會(huì)產(chǎn)生油霧和污染，適用于對(duì)環(huán)境要求高的應(yīng)用領(lǐng)域。維護(hù)簡(jiǎn)單，無(wú)油干式真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，維護(hù)方便，使用壽命長(zhǎng)。高效節(jié)能，無(wú)油干式真空泵采用高效節(jié)能的電機(jī)和控制系統(tǒng)，節(jié)能效果明顯。安全可靠，無(wú)油干式真空泵不會(huì)因油污染、泄漏等問(wèn)題而造成事故，具有更高的安全性。貴州無(wú)油干式真空泵華中真空設(shè)備在“和諧共贏、創(chuàng)造發(fā)展”的服務(wù)理念指引下，與您攜手打造行業(yè)可信品牌！

干式泵以羅茨泵、螺桿泵、爪式真空泵三大類型為主，干式真空泵的投入成本特點(diǎn)可以簡(jiǎn)單總結(jié)為1高2低，即投資成本較高，但是運(yùn)行成本和維修成本都較低。開(kāi)動(dòng)電機(jī)，當(dāng)真空泵正常的進(jìn)行運(yùn)轉(zhuǎn)之后，打開(kāi)出口壓力表和進(jìn)口干式螺桿真空泵，視其顯示出適當(dāng)?shù)膲毫χ螅饾u的打開(kāi)其閘閥的同時(shí)需要檢查電機(jī)的負(fù)荷情況。干式螺桿真空泵是一種真空獲得設(shè)備。近年來(lái)，真空泵的發(fā)展愈來(lái)愈受到真空應(yīng)用場(chǎng)合的限制，傳統(tǒng)的真空系統(tǒng)無(wú)法滿足清潔無(wú)油及耐腐蝕的要求，逐漸被無(wú)油清潔的真空獲得系統(tǒng)所代替，干式螺桿真空泵就屬于這類無(wú)油、干式運(yùn)行的真空泵。

干式真空泵在泵送的氣體中沒(méi)有流體，依靠泵的旋轉(zhuǎn)部件和靜態(tài)部件之間的間隙、干式聚合物密封件或隔膜將泵送機(jī)構(gòu)與氣體分開(kāi)并確保緊密密封。然而，干式并非完全無(wú)油，因?yàn)橛突蛴椭ǔＳ糜诒谬X輪和軸承。這與真空壓縮側(cè)保持分離。干泵可降低污染和油霧的風(fēng)險(xiǎn)。它們還具有不需要像潤(rùn)滑泵那樣處理油的環(huán)境效益。根據(jù)真空室對(duì)油污染要求的不同，來(lái)選擇有油、無(wú)油、半無(wú)油、干式、濕式真空泵。干式真空泵適合于要求無(wú)油或工作液、或?qū)ぷ饕簝?chǔ)存和處理費(fèi)用比較關(guān)切等場(chǎng)合。華中生產(chǎn)設(shè)備先進(jìn)，檢測(cè)施工設(shè)備齊全，研發(fā)機(jī)構(gòu)專業(yè)，技術(shù)力量雄厚，工程與產(chǎn)品質(zhì)量俱佳。

當(dāng)干式螺桿真空泵重新啟動(dòng)時(shí)，這些殘余物質(zhì)有可能導(dǎo)致電機(jī)過(guò)載，這些物質(zhì)可能產(chǎn)生過(guò)多的摩擦負(fù)載或損壞螺桿或泵體。所以在泵內(nèi)積相當(dāng)數(shù)量的不潔物質(zhì)的情況下，泵內(nèi)要消除干凈。干式螺桿真空泵，是利用一對(duì)螺桿，在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備，兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正，由軸承支撐，安裝在泵殼中，螺桿與螺桿之間都有一定的間隙，因此泵工作時(shí)，相互之間無(wú)磨擦，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，噪音低，工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油，因此，干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合，極限真空更高，消耗功率更低，具有節(jié)能，免維修等優(yōu)點(diǎn)。華中真空技術(shù)力量雄厚：始終堅(jiān)持“優(yōu)良的產(chǎn)品、優(yōu)良的服務(wù)、優(yōu)良的質(zhì)量、良好的信譽(yù)”為宗旨服務(wù)于客戶。貴州無(wú)油干式真空泵

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干式真空泵能做到基本沒(méi)有二次污染產(chǎn)生，雖然現(xiàn)在有襯、噴、滲、鍍以及合金等防腐技術(shù)，但在負(fù)壓及摩擦等作用下，防腐層容易脫落失效，這已在實(shí)際應(yīng)用中得到證明，無(wú)法滿足在腐蝕性工況下長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)行的要求。由于干式真空泵自身的設(shè)計(jì)機(jī)理，其可以抽除攜帶大量水蒸汽和少量粉塵的氣體。而且就旋轉(zhuǎn)容積式干式真空泵而言，其抽氣過(guò)程中對(duì)泵腔內(nèi)的氣體不存在壓縮作用，所以其可以用來(lái)抽出可凝性氣體等。無(wú)論旋片真空泵的性能如何，長(zhǎng)時(shí)間使用后都可能出現(xiàn)故障。故障的成本很高，尤其是在工業(yè)應(yīng)用中。華中真空設(shè)備溫馨提示。貴州無(wú)油干式真空泵