明嘉靖四十二年(1563)置澄海縣,清康熙三年(1664)撤銷,康熙八年(1668)復置縣,咸豐十一年(1861)析澄海縣、鮀浦司之“沙汕頭”,稱汕頭埠。1921年由澄海縣析汕頭埠及崎碌成立汕頭市政廳。1936年屬廣東省第五行政督察專員公署。
1959年撤縣,縣地并入汕頭市郊;同年再復置澄海縣。1994年4月18日,民政部批復(民行批[1994]56號)撤銷澄海縣,設立澄海市。市政府駐澄城鎮。
2000年,澄海市轄3個街道、12個鎮:鳳翔街道、澄華街道、廣益街道、蓮下鎮、蓮上鎮、溪南鎮、東里鎮、隆都鎮、鹽鴻鎮、蓮華鎮、外砂鎮、新溪鎮、灣頭鎮、壩頭鎮、上華鎮。
2000年第五次人口普查,澄海市常住總人口860003人,其中:風翔街道83325人,廣益街道44148人,澄華街道71656人,上華鎮31188人,灣頭鎮34341人,蓮下鎮72431人,蓮上鎮54144人,溪南鎮64100人,東里鎮76721人,鹽鴻鎮43222人,蓮華鎮24807人,隆都鎮74431人,壩頭鎮46923人,外砂鎮78776人,新溪鎮59790人。
2002年1月?,省政府批準同意撤銷澄海市壩頭鎮和灣頭鎮建制,將其管轄的行政區域分別并入鳳翔街道和蓮下鎮。新成立的鳳翔街道面積41.46平方千米、人口13.03萬人,新成立的灣頭鎮面積56.09平方千米、人口10.675萬人。
2003年1月29日,國務院批準(國函[2003]11號):撤銷縣級澄海市,設立汕頭市澄海區。以原縣級澄海市的行政區域(不含外砂鎮、新溪鎮)為澄海區的行政區域。區人民政府駐文冠路(原澄海市人民政府駐地);將原澄海市的外砂、新溪2個鎮劃歸龍湖區管轄。
2003年,澄海區轄鳳翔、澄華、廣益3個街道和蓮下、蓮上、蓮華、東里、溪南、鹽鴻、上華、隆都8個鎮,共有43個居委會、137個村委會。總戶數174483戶、總人口706239人:鳳翔街道35030戶、136863人;澄華街道13061戶、53356人;廣益街道9137戶、39921人;東里鎮19677戶、75379人;蓮上鎮12926戶、53067人;蓮下鎮25009戶、104953人;蓮華鎮6434戶、26021人;上華鎮7742戶、33804人;隆都鎮18720戶、74391人;鹽鴻鎮10488戶、4350l人;溪南鎮16225戶、64805人;區直轄單位34戶、178人。
2008年末,澄海區面積367.4平方千米,戶籍總人口725613人。2009年末,澄海區轄3個街道、8個鎮,45個居委會、131個行政村。區政府駐澄華街道文冠路。
2010年第六次人口普查,澄海區常住總人口800399人,其中:鳳翔街道146928人,廣益街道61528人,澄華街道97392人,上華鎮35570人,隆都鎮72421人,蓮下鎮117893人,蓮上鎮55483人,溪南鎮64363人,東里鎮80521人,鹽鴻鎮43379人,蓮華鎮24921人。
2012年末,澄海區面積345.23平方千米。戶籍人口75.33萬人,常住人口80.72萬人。轄3個街道、8個鎮和1個經濟開發試驗區。
2014年,東里鎮、蓮下鎮被列為全國重點鎮。