秦置廣昌縣，北魏撤廣昌縣并入靈丘縣，隋仁壽元年（601年）改為飛弧縣。明初復置廣昌縣。民國三年（1914年），因與江西省廣昌縣重名，改淶源縣。以境內為淶水（即今拒馬河，源于淶源縣城西南）之發源地而得名。

1996年，淶源縣面積2448平方千米，人口約25.8萬人，轄6個鎮、11個鄉：淶源鎮、銀坊鎮、走馬鎮、水堡鎮、王安鎮、楊家莊鎮、下北頭鄉、南屯鄉、北石佛鄉、東團堡鄉、上莊鄉、留家莊鄉、南馬莊鄉、金家井鄉、煙煤洞鄉、塔崖驛鄉、烏龍溝鄉。縣政府駐淶源鎮。

2000年第五次人口普查，淶源縣常住總人口250790人，其中：淶源鎮65695人，銀坊鎮14092人，走馬驛鎮15700人，水堡鎮6552人，王安鎮15213人，楊家莊鎮15037人，下北頭鄉17466人，南屯鄉9251人，南馬莊鄉10105人，北石佛鄉17127人，金家井鄉12399人，留家莊鄉6173人，上莊鄉13502人，東團堡鄉14103人，塔崖驛鄉6463人，烏龍溝鄉6197人，煙煤洞鄉5715人。

2002年，淶源縣面積2448平方千米，人口約22.19萬人。轄6個鎮、11個鄉，6個社區、285個行政村。縣政府駐淶源鎮開源路29號。

2009年，撤銷下北頭鄉，設立為白石山鎮（冀民函[2009]140號）；11月2日正式實施。

2010年第六次人口普查，淶源縣常住總人口260678人，其中：淶源鎮92691人，銀坊鎮12087人，走馬驛鎮15078人，水堡鎮6787人，王安鎮14163人，楊家莊鎮13939人，白石山鎮15488人，南屯鄉8622人，南馬莊鄉8457人，北石佛鄉17310人，金家井鄉11126人，留家莊鄉5622人，上莊鄉11920人，東團堡鄉12011人，塔崖驛鄉6664人，烏龍溝鄉5899人，煙煤洞鄉2814人。

2013年，撤銷南屯鄉，設立南屯鎮（冀民函[2013]247號）。調整后，全縣轄8個鎮、9個鄉：淶源鎮、銀坊鎮、走馬驛鎮、水堡鎮、王安鎮、楊家莊鎮、白石山鎮、南屯鎮、馬莊鄉、北石佛鄉、金家井鄉、留家莊鄉、上莊鄉、東團堡鄉、塔崖驛鄉、烏龍溝鄉、煙煤洞鄉。