原屬三河縣地。據(jù)傳，明嘉靖年間，海氏先祖海南悉由滄州遷居此地立村。因當(dāng)?shù)貫槊鞔^大牧馬場，俗稱大場，遂以此為村名；后大場又演變?yōu)榇髲S。
1952年設(shè)大廠回族自治區(qū)，1955年改為大廠回族自治縣。1958年并入薊縣，改稱薊縣大廠回族自治區(qū)公社。1962年復(fù)置大廠回族自治縣。
1996年，大廠回族自治縣面積176平方千米，人口約10.9萬人，其中少數(shù)民族人口2.3萬人，轄2個(gè)鎮(zhèn)、3個(gè)鄉(xiāng)：大廠鎮(zhèn)、夏墊鎮(zhèn)、祁各莊鄉(xiāng)、邵府鄉(xiāng)、陳府鄉(xiāng)。縣政府駐大廠鎮(zhèn)。
2000年第五次人口普查，大廠回族自治縣常住總?cè)丝?12658人，其中：大廠鎮(zhèn)39213人，夏墊鎮(zhèn)30212人，祁各莊鄉(xiāng)21817人，邵府鄉(xiāng)9514人，陳府鄉(xiāng)11902人。
2002年，大廠回族自治縣面積176平方千米，人口約11.13萬人。轄2個(gè)鎮(zhèn)、3個(gè)鄉(xiāng)，5個(gè)社區(qū)、105個(gè)行政村。縣政府駐大廠鎮(zhèn)。
2006年10月18日，祁各莊正式撤鄉(xiāng)建鎮(zhèn)。調(diào)整后，全縣轄3個(gè)鎮(zhèn)、2個(gè)鄉(xiāng)：大廠鎮(zhèn)、夏墊鎮(zhèn)、祁各莊鎮(zhèn)、邵府鄉(xiāng)、陳府鄉(xiāng)。
2010年第六次人口普查，大廠回族自治縣常住總?cè)丝?18474人，其中：大廠鎮(zhèn)45298人，夏墊鎮(zhèn)32686人，祁各莊鎮(zhèn)20641人，邵府鄉(xiāng)8697人，陳府鄉(xiāng)10478人，大廠工業(yè)園區(qū)674人。
2013年，撤銷陳府鄉(xiāng)，設(shè)立陳府鎮(zhèn)（冀民函[2013]204號(hào)）；撤銷邵府鄉(xiāng)，設(shè)立邵府鎮(zhèn)（冀民函[2013]205號(hào)）。調(diào)整后，全縣轄5個(gè)鎮(zhèn)：大廠鎮(zhèn)、夏墊鎮(zhèn)、祁各莊鎮(zhèn)、陳府鎮(zhèn)、邵府鎮(zhèn)。