西漢高祖六年（公元前201年）置臨潁縣，因瀕臨穎河故名，治今固廂鄉。北齊廢縣置臨潁郡，隋廢郡復置臨潁縣。

1996年，臨潁縣面積821平方千米，人口約65.7萬人，轄6個鎮、9個鄉：城關鎮、王崗鎮、杜曲鎮、繁城回族鎮、瓦店鎮、臺陳鎮、三家店鄉、大郭鄉、王孟鄉、石橋鄉、巨陵鄉、陳莊鄉、固廂鄉、皇帝廟鄉、窩城鄉。縣政府駐城關鎮。

2000年第五次人口普查，臨潁縣總人口632427人，其中：城關鎮90376人、繁城鎮50599人、杜曲鎮64338人、壬崗鎮50534人、臺陳鎮56177人、巨陵鎮38251人、瓦店鎮39862人、三家店鎮30553人、窩城鎮29031人、大郭鄉45677人、皇帝廟鄉28613人、同廂鄉28611人、石橋鄉23190人、陳莊鄉22237人、王孟鄉34378人。

2002年末，臨潁縣總面積821平方千米，其中城區面積12平方千米。總人口70.7萬人，其中農業人口59.3萬人。轄城關、繁城、杜曲、王崗、臺陳、瓦店、窩城、三家店、巨陵9個鎮和石橋、固廂、王孟、大郭、陳莊、皇帝廟6個鄉及一個城區辦事處。

2003年末，臨潁縣總面積821平方千米，其中城區面積12平方千米。總人口71.5萬人。轄城關、繁城、杜曲、王崗、臺陳、瓦店、窩城、三家店、巨陵9個鎮和石橋、固廂、王孟、大郭、陳莊、皇帝廟6個鄉。原來的一個城區辦事處劃歸城關鎮，在城區新設社區服務站兩處。

2004年末，臨潁縣總面積821平方千米，其中城區面積12平方千米。總人口71.8萬人。轄城關、繁城、杜曲、王崗、臺陳、瓦店、窩城、三家店、巨陵9個鎮和石橋、固廂、王孟、大郭、陳莊、皇帝廟6個鄉及一個城區辦事處。

2005年末，全縣總面積821平方千米，其中城區面積12平方千米。人口72.2萬人，其中農業人口60.3萬人。轄城關、杜曲、繁城、臺陳、王崗、瓦店、巨陵、三家店、窩城9個鎮和大郭、王孟、固廂、石橋、皇帝廟、陳莊6個鄉及一個城區辦事處。

2006年末，臨潁縣總面積821平方千米，其中城區面積12平方千米。人口734799人，其中農業人口614135人。轄城關、杜曲、繁城、臺陳、王崗、瓦店、巨陵、三家店、窩城9個鎮和大郭、王孟、固廂、石橋、皇帝廟、陳莊6個鄉及一個城區辦事處。

臨潁縣轄9個鎮、6個鄉：城關鎮、繁城回族鎮、王崗鎮、臺陳鎮、瓦店鎮、杜曲鎮、巨陵鎮、窩城鎮、三家店鎮；固廂鄉、石橋鄉、王孟鄉、陳莊鄉、皇帝廟鄉、大郭鄉，共有361個行政村。