察哈爾，為蒙古部落名。清為察哈爾右翼正紅、正黃旗地。1935年隸綏遠省。1954年隸內蒙古自治區，同年廢除旗縣并存體制，建立察哈爾右翼后旗。1967年，改稱察哈爾右翼后旗革命委員會。1971年，旗駐地從土牧爾臺遷往白音察干。1981年6月，察哈爾右翼后旗革命委員會改稱察哈爾右翼后旗人民政府。

1954年3月17日，在解決綏東地區旗縣并存時，察哈爾右翼后旗正式建制，轄42個鄉鎮，總人口94560人。1955年2月，將錫林郭勒盟蘇尼特右旗新民區劃歸察哈爾右翼后旗。1956年1月，將新民區和土牧爾臺區東方鄉的蘇合少、劉家溝兩村劃歸蘇尼特右旗。1957年11月，將集寧縣大西溝、大六號、賁紅、高茂、曹不汗、高玉梁、黃羊城劃歸察哈爾右翼后旗。

1958年6月，將四子王旗所屬海青花、三井泉、大西村、土城、明樂劃歸察哈爾右翼后旗。1958年3月，撤區劃鄉，將32個鄉鎮劃為22個鄉鎮，同年10月把22個鄉鎮劃為6個人民公社、1個鎮公社。1962年5月，將6個人民公社調整為19個。1984年4月，公社改為鄉鎮（蘇木）府，時轄21個鄉（蘇木）鎮、180個行政村、639個自然村。

1997年末，全旗總面積3910平方千米，總人口214829人。轄2個鎮、3個蘇木、15個鄉：白音察干鎮、土牧爾臺鎮、烏蘭哈達蘇木、當郎忽洞蘇木、哈彥忽洞蘇木、八號地鄉、三井泉鄉、大六號鄉、石門口鄉、石窯溝鄉、白音察干鄉、吉棍塔拉鄉、紅格爾圖鄉、阿貴圖鄉、賁紅鄉、蝦江河鄉、勝利鄉、韓勿拉鄉、錫勒鄉、察汗淖鄉。共有179個行政村，648個自然村。旗政府駐白音察干鎮。

2000年第五次人口普查，察哈爾右翼后旗總人口164980人，其中：白音察干鎮26485人，土牧爾臺鎮21911人，八號地鄉8225人，三井泉鄉3400人，阿貴圖鄉8397人，當郎忽洞蘇木6314人，吉棍塔拉鄉2815人，察汗淖鄉3611人，韓勿拉鄉4074人，烏蘭哈達蘇木5197人，紅格爾圖鄉11860人，白音察干鄉5554人，哈彥忽洞蘇木3782人，大六號鄉12988人，賁紅鄉10333人，石門口鄉11569人，蝦江河鄉7436人，錫勒鄉4966人，石窯溝鄉3574人，勝利鄉2489人。

2003年，察哈爾右翼后旗轄5個鎮、4個鄉、5個蘇木：土牧爾臺鎮、紅格爾圖鎮、白音察干鎮、賁紅鎮、大六號鎮、八號地鄉、阿貴圖鄉、石夭溝鄉、石門口鄉、當郎忽洞蘇木、韓勿拉蘇木、錫勒蘇木、烏蘭哈達蘇木、哈彥忽洞蘇木。

2006年，撤銷韓勿拉蘇木，將韓勿拉蘇木的4個村（察汗淖、后洼、宿黑蟆、格少）并入當郎忽洞蘇木；撤銷哈彥忽洞蘇木，將哈彥忽洞蘇木的頂木其溝嘎查和韓勿拉蘇木的4個嘎查村（巴音高勒、亢家村、后房、石灰圖）并入烏蘭哈達蘇木；撤銷錫勒蘇木、石窯溝鄉，將錫勒蘇木原管轄地行政區域整建制和韓勿拉蘇木的哈拉溝嘎查和石窯溝鄉的5個嘎查、村（紅格爾圖、蘇計不浪、石窯溝、趙家房、石層壩）合并設立錫勒鄉。將哈彥忽洞蘇木的哈彥忽洞4個嘎查村（牧業、大井子、西泉子、建設）、貢紅鎮的5個村（蘆家村、大九號、建和、紅勝、紅豐）、石窯溝鄉的2個村（大丹岱、霞江河）并入白音察干鎮；撤銷八號地鄉、阿貴圖鄉，將八號地鄉原管轄的行政區域整建制和阿貴圖鄉的長勝灣村并入土牧爾臺鎮。將阿貴圖鄉的4個村（王丙、向陽、生產、喇嘛圐圙）并入紅格爾圖鎮；撤銷大六號鎮、石門口鄉，并入貢紅鎮（劃入白音察干鎮的5個村除外）。

2006年，察右后旗總面積3910平方千米。總人口67544戶209300人，其中少數民族人口12672人。轄7個蘇木、鄉、鎮，85個嘎查、行政村。2009年，全旗總人口20.48萬人。

2012年，恢復大六號鎮。調整后，全旗轄5個鎮、2個蘇木、1個鄉：白音察干鎮、土牧爾臺鎮、紅格爾圖鎮、賁紅鎮、大六號鎮、當郎忽洞蘇木、烏蘭哈達蘇木、錫勒鄉。