東漢建安十六年（211）劃余杭縣西部置臨水縣，晉武帝太康元年（280）更名臨安縣，1996年撤縣建市。

1996年，臨安市面積3126.8平方千米，人口約50.4萬人，轄15鎮24鄉，市政府駐錦城鎮。

2000年第五次人口普查，臨安市總人口514238人，其中：錦城鎮110360人、玲瓏鎮25211人、青山鎮21597人、三口鎮8178人、橫畈鎮14680人、高虹鎮11128人、青云鎮14921人、於潛鎮31890人、藻溪鎮21119人、太陽鎮16387人、昌化鎮22507人、龍崗鎮10545人、湍口鎮8456人、頰口鎮12772人、順溪鎮6773人、島石鎮17419人、板橋鄉16188人、上甘鄉8375人、石門鄉3921人、楊嶺鄉8511人、東天目鄉6811人、臨目鄉3490人、紹魯鄉6637人、西天目鄉12434人、千洪鄉6087人、橫路鄉9329人、堰口鄉6310人、塔山鄉5031人、紫水鄉4731人、馬山鄉3896人、樂平鄉9970人、河橋鄉11768人、石瑞鄉5105人、洪嶺鄉3854人、馬嘯鄉9411人、新橋鄉6893人、上溪鄉4778人、龍井橋鄉3073人、魚跳鄉3692人。

2000年，青云鎮新建農場行政村。2000年末，全市總人口51.21萬人，轄16個鎮、23個鄉，662個行政村、20個居民區。

2001年7月31日，浙江省政府（浙政函[2001]142號）批復同意臨安市行政區劃調整：（1）撤銷青云鎮、東天目鄉、楊嶺鄉、臨目鄉建制，合并設立太湖源鎮。太湖源鎮轄51村，駐浪口村。（2）撤銷塔山鄉、馬山鄉、紫水鄉建制，合并設立潛川鎮。潛川鎮轄23村，駐牧亭村。（3）撤銷頰口鎮、順溪鎮建制，合并設立清涼峰鎮。清涼峰鎮轄24村，駐橋東村（原頰口鎮址）。（4）撤銷龍井橋鄉、魚跳鄉、上溪鄉建制，合并設立大峽谷鎮。大峽谷鎮轄40個村，駐楊嶺村（原龍井橋鄉址）。（5）撤銷河橋鄉、石瑞鄉建制，合并設立河橋鎮。河橋鎮轄27村，駐譽光村（原河橋鄉址）。（6）撤銷石門鄉建制，并入高虹鎮。高虹鎮轄22村，駐高樂村（原址）。（7）撤銷堰口鄉、紹魯鄉建制，并入於潛鎮。於潛鎮轄53村、1居，駐人民街（原址）。（8）撤銷洪嶺鄉建制，并入湍口鎮。湍口鎮轄30村，駐湍口村（原址）。（9）撤銷錦城鎮、青山鎮、玲瓏鎮、上甘鄉建制，改由臨安市政府直轄并設立錦城、青山湖、玲瓏、上甘4個街道辦事處。①錦城街道辦事處，管理原錦城鎮44村、18居，駐臨水路（原鎮址）。②青山湖街道辦事處，管理原青山鎮16村、1居，駐新村（原鎮址）。③玲瓏街道辦事處，管理原玲瓏鎮35村，駐夏禹橋村（原鎮址）。④上甘街道辦事處，管理原上甘鄉12村，駐長春村（原鄉址）。調整后，臨安市轄三口鎮、橫畈鎮、高虹鎮、太湖源鎮、於潛鎮、藻溪鎮、太陽鎮、潛川鎮、昌化鎮、龍崗鎮、河橋鎮、湍口鎮、清涼峰鎮、島石鎮、大峽谷鎮15鎮和板橋鄉、西天目鄉、千洪鄉、橫路鄉、樂平鄉、馬嘯鄉、新橋鄉7鄉，城區設錦城、青山湖、玲瓏、上甘4街道，共有21個居民區、662個行政村。

2002年，臨安市行政區劃調整情況：錦城街道撤銷馬溪、竹林、西墅、橫潭、新民、勝利、東門、青龍、西瓜、余村、錦橋行政村建制，新建馬溪、竹林、西墅、橫潭、新民、勝利、東門、青龍、西瓜、余村、錦橋居民區，撤銷苕溪、錦東、錦西、錦南、南苑、環山、臨水、錦江、大地、西墅街、武肅里、文昌閣、姚北山、新民里、臨天橋、匯錦苑、浙江林學院居民區，新建林學院、文昌閣、武肅里、錦橋、蘭嶺、新民里、馬溪、西墅、大地、苕溪、錦潭社區。2002年末，臨安市總面積3126.8平方千米，人口51.73萬人。轄4個街道、15個鎮、7個鄉：錦城街道、青山湖街道、玲瓏街道、上甘街道、橫畈鎮、三口鎮、高虹鎮、太湖源鎮、於潛鎮、藻溪鎮、太陽鎮、昌化鎮、龍崗鎮、河橋鎮、湍口鎮、清涼峰鎮、潛川鎮、島石鎮、大峽谷鎮、板橋鄉、西天目鄉、千洪鄉、橫路鄉、樂平鄉、馬嘯鄉、新橋鄉。共有12個社區、3個居委會、662個行政村。

2003年末，臨安市戶籍人口51.49萬人，轄4個街道、15個鎮、7個鄉，11個社區、15個居民區、651個行政村。

2005年末，全市總面積3126.8平方千米�？側丝�51.9萬人。轄4個街道、15個鎮、7個鄉：錦城街道、玲瓏街道、上甘街道、青山湖街道、橫畈鎮、於潛鎮、藻溪鎮、太陽鎮、昌化鎮、龍崗鎮、島石鎮、湍口鎮、三口鎮、高虹鎮、河橋鎮、潛川鎮、太湖源鎮、清涼峰鎮、大峽谷鎮、板橋鄉、千洪鄉、橫路鄉、樂平鄉、馬嘯鄉、新橋鄉、西天目鄉。市政府駐錦城街道衣錦街398號。

2007年10月30日，臨安市啟動村規模調整工作。11月21日，原662個村調整為298個。部分鄉鎮（街道）開展行政區劃調整（注：省政府2008年1月批復同意相關調整）：青山湖街道民主村、太湖源鎮泥川村、橫畈鎮大羅村劃歸錦城街道管轄，錦城街道崇陽村劃歸高虹鎮管轄。錦城街道市塢村、蘭錦村，玲瓏街道卦畈村劃歸上甘街道管轄。上甘街道更名為錦南街道。於潛鎮交口村劃歸西天目鄉管轄，龍崗鎮上營村劃歸昌化鎮管轄。至2007年末，臨安市戶籍人口52.64萬人，轄4個街道、15個鎮、7個鄉：錦城街道、玲瓏街道、上甘街道、青山湖街道；橫畈鎮、於潛鎮、藻溪鎮、太陽鎮、昌化鎮、龍崗鎮、島石鎮、湍口鎮、三口鎮、高虹鎮、河橋鎮、潛川鎮、太湖源鎮、清涼峰鎮、大峽谷鎮；板橋鄉、千洪鄉、橫路鄉、樂平鄉、馬嘯鄉、新橋鄉、西天目鄉。共有有287個行政村、11個社區。市政府駐錦城街道衣錦街398號。

2008年1月31日，浙江省政府（浙政函[2008]23號）批復同意臨安市部分行政區劃調整：一、將青山湖街道民主村、太湖源鎮泥川村、橫畈鎮大羅村劃歸錦城街道管理；將錦城街道崇陽村劃歸高虹鎮管轄；將錦城街道市塢村、蘭錦村、玲瓏街道卦畈村劃歸上甘街道管理，并將上甘街道更名為錦南街道，街道辦事處駐地遷至楊岱村。調整后，青山湖街道管理1個居民區、9個行政村，辦事處駐地不變（天柱街552號）；太湖源鎮轄20個行政村，鎮政府駐地不變（青溪街251號）；橫畈鎮轄10個行政村，鎮政府駐地不變（慶林街111號）；高虹鎮轄9個行政村，鎮政府駐地不變（德新街108號）；錦南街道管理9個行政村，街道辦事處駐楊岱村；玲瓏街道管理16個行政村，辦事處駐地不變（夏禹橋29號）；錦城街道管理11個社區、11個居民區、17個行政村，辦事處駐地不變（臨水路223號）。二、將於潛鎮交口村劃歸西天目鄉管轄。調整后，西天目鄉轄11個行政村，鄉政府駐地不變（白鶴村）；於潛鎮轄26個行政村，1個居民區，鎮政府駐地不變（人民街132號）。三、將龍崗鎮上營村劃歸昌化鎮管轄。調整后，昌化鎮轄14個行政村，1個居民區、鎮政府駐地不變（西街58號）；龍崗鎮轄8個行政村，政府駐地不變（龍崗街127號）。

2011年1月，臨安市部分行政區劃調整：撤銷橫畈鎮，并入青山湖街道，轄1個居民區、19個行政村，辦事處駐地不變（天柱街552號）；撤銷三口鎮、板橋鄉建制，合并設立板橋鎮，轄15個行政村，鎮政府駐下板橋7號（原板橋鄉政府駐地）；撤銷千洪鄉，并入於潛鎮，轄1個居民區、30個行政村，鎮政府駐地不變（人民街132號）；撤銷藻溪鎮、西天目鄉建制，合并設立天目山鎮，轄23個行政村，鎮政府駐天目路18號（原藻溪鎮政府駐地）；撤銷樂平鄉，并入潛川鎮，轄16個行政村，鎮政府駐地不變（牧亭村下村162號）；撤銷橫路鄉，并入太陽鎮，轄18個行政村，鎮政府駐地不變（太陽街161號）；撤銷馬嘯鄉，并入清涼峰鎮，轄17個行政村，鎮政府駐地不變（橋東10號）；撤銷大峽谷鎮，并入龍崗鎮，轄24個行政村，鎮政府駐地不變（龍崗街127號）；撤銷新橋鄉，并入島石鎮，轄16個行政村，鎮政府駐地不變（島石街155號）（浙政函[2011]53號）。錦城街道分設，以苕溪為界，苕溪以南（含橫溪片）為錦城街道，轄9個社區、8個居民區、5個行政村，辦事處駐地不變（臨水路223號）；苕溪以北設立錦北街道，轄2個社區、3個居民區、12個行政村，辦事處暫駐馬溪路95-8號（1月14日杭政函[2011]5號）。

2012年末，全市總面積3124平方千米。總人口52.60萬人。轄5個街道、13個鎮7個鄉：玲瓏街道、錦南街道、錦城街道、錦北街道、青山湖街道、高虹鎮、太湖源鎮、於潛鎮、太陽鎮、潛川鎮、昌化鎮、河橋鎮、湍口鎮、清涼峰鎮、島石鎮、板橋鎮、天目山鎮、龍崗鎮。市政府駐錦城街道衣錦街398號。